【課題】良好なCD均一性(CDU)を有するレジストパターンを製造することができる塩、酸発生剤及びレジスト組成物を提供することを目的とする。【解決手段】式(I)で表される塩、酸発生剤及びレジスト組成物。[式中、Q1及びQ2は、それぞれフッ素原子又はペルフルオロアルキル基を表す。R1及びR2は、それぞれ水素原子、フッ素原子又はペルフルオロアルキル基を表す。zは、0〜6の整数を表す。X1は、*−CO−O−、*−O−CO−、*−O−CO−O−又は*−O−を表す。L1は、単結合又は置換基を有してもよい炭化水素基を表す。A1は、置換基を有してもよい単環式の脂環式炭化水素基を表し、該脂環式炭化水素基に含まれる−CH2−は、−O−、−S−、−SO2−又は−CO−に置き換わっていてもよい。R3は、フッ素原子又はフッ素化アルキル基を表す。R4はアルキル基を表す。Z+は有機カチオンを表す。]【選択図】なし
目的是提供一种可以制造具有良好CD均一性(CDU)的光阻图案的盐、酸发生剂和光阻组合物。解决方案是由式(I)表示的盐、酸发生剂和光阻组合物。在方程中,Q1和Q2分别表示
氟原子或
全氟烷基。R1和R2分别表示氢原子、
氟原子或
全氟烷基。z表示0到6的整数。X1表示*−CO−O−、*−O−CO−、*−O−CO−O−或*−O−。L1表示可以具有取代基的碳氢基。A1表示可以具有取代基的单环脂
环烃基,其中包含在该脂
环烃基中的−
CH2−可以被替换为−O−、−S−、−SO2−或−CO−。R3表示
氟原子或
氟化烷基。R4表示烷基。Z+表示有机阳离子。【选择图】无