高 Tc 超导体 YBa2Cu3O7-δ 的均匀薄膜已通过有机
金属
化学气相沉积制备,使用挥发性
金属有机前体 Cu(
乙酰丙酮)2、Y(二新戊酰
甲烷)3 和 Ba(七
氟二甲基
辛二酸)2。以
氩气为载气,
水蒸气为反应物,薄膜生长速度可达 10-30 nm/min。在
氧气下退火后,能量色散 X 射线分析、轮廓测定和 X 射线衍射数据表明,[100] 单晶 MgO 上的这种 YBa2Cu3O7-δ 薄膜具有良好的成分和尺寸均匀性以及微晶 c 轴的优先取向垂直于基板表面。四探针电阻率测量显示,在 90 K 时开始超导,66.2 K 时电阻为零。