the properties of insulating dielectrics. As a supramolecular compound, calix[4]arene has a unique cavity structure, showing potential for a low-k material. We herein reported a novel strategy to functionalize the 4-tert-butylcalix[4]arene with different numbers of benzocyclobutene (BCB) units (2 or 4) and spacers (–(CH2)3– or –(CH2)6–) by sequential substitution and hydrosilylation reactions. These
半导体工业的快速发展对绝缘电介质的性能提出了更高的要求。作为一种超分子化合物,杯[4]
芳烃具有独特的空腔结构,显示出作为低k材料的潜力。我们在此报道了一种新策略,用不同数量的
苯并环丁烯(BCB)单元(2或4)和间隔基(–(CH 2)3 –或–(CH 2)6对4-叔丁基杯[4]
芳烃进行功能化–) 通过连续取代和氢化
硅烷化反应。这些前体可以在加热下固化以形成交联膜。通过差示扫描量热法(
DSC)测量筛选优化固化条件。结合使用含有杯[4]
芳烃但不含BCB单元的前驱体的对比实验,广角X射线散射(WAXS)图和热分析提供了有力的证据,证明薄膜的高热稳定性(
玻璃化转变温度(T g )> 110 °C,5 wt%损失温度> 367 °C,热膨胀系数< 87.88 ppm °C -1 )主要由杯[4]
芳烃贡献,而优异的介电性特性(最低介电常数D k= 2.23 和平均介电损耗D f < 1.5 × 10 -3