(acetoxy)tri(methoxy)silane | 13170-06-4

• 分子结构分类: 有机化合物 - 有机酸及其衍生物 - 羧酸及其衍生物
• 英文名称: (acetoxy)tri(methoxy)silane
• 英文别名: Trimethoxy(acetoxy)silane；trimethoxysilyl acetate
• CAS: 13170-06-4
• 化学式: C₅H₁₂O₅Si
• 分子量: 180.233
• InChiKey: WOYURNMGWGMPLA-UHFFFAOYSA-N

物化性质

• 沸点：
  37-40 °C(Press: 2 Torr)
• 密度：
  1.064±0.06 g/cm3(Predicted)

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  -0.08
• 重原子数：
  11
• 可旋转键数：
  5
• 环数：
  0.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  0.8
• 拓扑面积：
  54
• 氢给体数：
  0
• 氢受体数：
  5

反应信息

• 作为反应物：
  描述：

  (acetoxy)tri(methoxy)silane 生成 正硅酸甲酯 、 di(acetoxy)di(methoxy)silane
  参考文献：
  名称：

  Alkoxy(acyloxy)silanes

  摘要：

  DOI：

  10.1007/bf00958056
• 作为产物：
  描述：

  正硅酸甲酯 、 乙酸酐 反应 4.0h， 生成 (acetoxy)tri(methoxy)silane
  参考文献：
  名称：

  [EN] ORGANOMETALLIC COMPOUND AND METHOD
  [FR] COMPOSÉ ORGANOMÉTALLIQUE ET PROCÉDÉ

  摘要：

  提供一类有机金属化合物。这些化合物的结构对应于公式1（A）x-M-(OR3)4-x，其中：A选自以下组：-NR1R2，-N（R4）（CH2）nN（R5R6），-N=C（NR4R5）（NR6R7），OCOR1，卤素和Y；R1和R2独立地选自以下组：H和具有1至8个碳原子的环状或非环状烷基，但必须满足R1和R2中至少有一个不是H；R4，R5，R6和R7独立地选自以下组：H和具有1至4个碳原子的非环状烷基；Y选自包含至少一个氮原子的3-至13元杂环基团；R3是具有1至6个碳原子的环状或非环状烷基；M选自Si，Ge，Sn，Ti，Zr和Hf；x是1至3的整数；n是1至4的整数。本发明的化合物可用作化学相沉积过程（如原子层沉积（ALD），化学气相沉积（CVD），等离子体辅助ALD和等离子体辅助CVD）中的前体。还提供了低温气相沉积金属氧化物薄膜（如SiO2薄膜）的方法。

  公开号：

  WO2017136945A1

文献信息

• Basenko; Voronkov, Russian Journal of General Chemistry, 1997, vol. 67, # 7, p. 1029 - 1031
  作者：Basenko、Voronkov

  DOI：——

  日期：——
• MIRSKOV, R. G.;BASENKO, S. V.;VITKOVSKIJ, V. YU.;GEBEL, I. A.;YAROSH, N. +, IZV. AN CCCP CEP. XIM.,(1989) N, S. 671-674
  作者：MIRSKOV, R. G.、BASENKO, S. V.、VITKOVSKIJ, V. YU.、GEBEL, I. A.、YAROSH, N. +

  DOI：——

  日期：——
• JP2023/83771
  申请人：——

  公开号：——

  公开（公告）日：——