HÄRTBARE ZUSAMMENSETZUNG ZUR VERWENDUNG IN EINEM HOCHTEMPERATUR-PHOTOPOLYMERISATIONSVERFAHREN AUF LITHOGRAPHIEBASIS UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON VERNETZTEN POLYMEREN DARAUS
申请人:Align Technology, Inc.
公开号:EP3564282A1
公开(公告)日:2019-11-06
Die vorliegende Erfindung betrifft eine härtbare Zusammensetzung zur Verwendung in einem Hochtemperatur-Photopolymerisationsverfahren auf Lithographiebasis, die zumindest die definierten polymerisierbaren Komponenten A bis C umfasst, wovon:
Komponente A zumindest ein oligomeres Dimethacrylat der chemischen Formel (I) ist und als Glasübergangstemperaturmodifikator dient;
Komponente B zumindest ein, gegebenenfalls Polyether-modifiziertes, (Poly-)Carbonat-(Poly-)Urethan-Dimethacrylat einer der chemischen Formeln (II), (III), (IV) oder (V) ist und als Zähigkeitsmodifikator dient; und
Komponente C Komponente C zumindest ein mono- oder multifunktioneller Methacrylat-basierter Reaktivverdünner ist.
本发明涉及一种用于基于高温光刻技术的光聚合工艺的可固化组合物,该组合物至少包含所定义的可聚合组分 A 至 C,其中:
组分 A 是至少一种化学式(I)的低聚二甲基丙烯酸酯,用作玻璃化温度调节剂;
组分 B 是至少一种化学式为(II)、(III)、(IV)或(V)的(聚)碳酸酯(聚)氨基甲酸乙酯二甲基丙烯酸酯(可选择聚醚改性),用作增韧改性剂;以及
组分 C 至少是一种单官能或多官能甲基丙烯酸酯基活性稀释剂。