PHOTORESIST COMPOSITION AND METHOD FOR PRODUCING PHOTORESIST PATTERN
申请人:ICHIKAWA Koji
公开号:US20120270153A1
公开(公告)日:2012-10-25
A photoresist composition comprising
(A) a resin which has an acid-labile group-containing structural unit and a lactone ring-containing structural unit, and
(B) a salt represented by formula (I):
wherein Q
1
and Q
2
each independently represent a fluorine atom or a C1-C6 perfluoroalkyl group,
n represents 0 or 1,
L
1
represents a single bond or a C1-C10 alkanediyl group in which a methylene group may be replaced by an oxygen atom or a carbonyl group, provided that L
1
is not a single bond when n is 0,
R
1
represents a hydroxy group or a hydroxy group protected by a protecting group, and
Z
+
represents an organic cation.
SALT, PHOTORESIST COMPOSITION, AND METHOD FOR PRODUCING PHOTORESIST PATTERN
申请人:ANRYU Yukako
公开号:US20120328986A1
公开(公告)日:2012-12-27
A salt represented by formula (I):
wherein Q
1
and Q
2
independently each represent a fluorine atom or a C1-C6 perfluoroalkyl group,
n represents 0 or 1,
L
l
represents a single bond or a C1-C10 alkanediyl group in which a methylene group may be replaced by an oxygen atom or carbonyl group, provided that L
l
is not a single bond when n is 0,
ring W represents a C3-C36 aliphatic ring in which a methylene group may be replaced by an oxygen atom, a sulfur atom, a carbonyl group or a sulfonyl group and in which a hydrogen atom may be replaced by a hydroxyl group, a C1-C12 alkyl group or a C1-C12 alkoxy group,
R
l
represents a hydroxyl group or a hydroxyl group protected by a protecting group, and
Z
+
represents an organic cation.
Efficient Condensation between
Glyoxal Hydrates and Sulfonium Salts Leading to Highly
Functionalized 1,4-Diketones
作者:Chunbao Li、Qiyun Shao
DOI:10.1055/s-2008-1078267
日期:——
α-Alkylthio-substituted α,β-unsaturated 1,4-dicarbonyl compounds with three different functionalities are easily available through condensation of sulfonium salts and various aromatic or aliphatic glyoxal hydrates catalyzed by Na2SeO3 or a combination of selenium dioxide and Na2CO3.
Novel beta-oxo compounds and their use in photoresist
申请人:ARCH SPECIALTY CHEMICALS, INC.
公开号:US20030078354A1
公开(公告)日:2003-04-24
Polymers comprising monomeric units of acid sensitive (acid labile) monomers and from about 2 to about 20% by weight of monomeric units of &bgr;-oxo ester containing monomers, wherein the &bgr;-oxo ester containing monomers are free of lactams or lactones, are useful as binder resins in radiation sensitive photoresist compositions for producing a resist image on a substrate.
Verfahren zur Erzeugung von Abbildungen in Photoresistschichten
申请人:CIBA-GEIGY AG
公开号:EP0085024A2
公开(公告)日:1983-08-03
ine Schicht aus einer Photoresistzusammensetzung auf einem Substrat wird wie durch ein Negativ hindurch mit aktinischer Strahlung bildweise belichtet, wobei die Photoresistzusammensetzung aus einem Epoxidharz, einem bonzoiden Polyamin und einer aromatischen Verbindung, die bei Belichtung mit aktinischer Strahlung eine Säure freisetzt, besteht. Die Zusammensetzung wird dann erhitzt, so dass örtliche Härtung des Epoxidharzes stattfindet, wo die Zusammensetzung von der Strahlung getroffen wurde, wobei die freigesetzte Säure als Beschleuniger bei der Härtung durch das benzoide Polyamin wirkt. In den nicht von der Strahlung getroffenen Teilen wird kein Säurebeschleuniger freigesetzt, so dass Härtung (und Unlöslichmachung des Epoxidharzes in Lösungsmitteln) sehr viel langsamer vor sich geht. Durch Behandlung mit einem geeigneten Lösungsmittel werden unbestrahlte (und somit ungehärtete) Teile der Zusammensetzungen weggelöst, wobei auf dem Substrat eine Abbildung entsteht.