三(二乙基氨基)叔丁酰胺钽 | 169896-41-7

• 物质功能分类: 有机原料 - 有机金属类化合物 - 有机钪、钽、铊、钨、锑、镧、铅、钒、钼、铬、镱等
• 分子结构分类: 有机化合物 - 有机盐 - 有机金属盐
• 中文名称: 三(二乙基氨基)叔丁酰胺钽
• 中文别名: 三(二乙基氨基)(叔丁基酰亚胺基)钽(V)；三(二乙基氨基)叔丁酰亚胺钽
• 英文名称: tert-butyliminotantalum,diethylazanide
• 英文别名: (tert-butylimido)tris(diethylamido)tantalum；tert-butylimido tris(diethylamido) tantalum；tertbutylimidotris(diethylamido)tantalum；tris(diethylamino)(t-butylamide)tantalum；terbutylimidotris(diethylamido)tantalum；tBuN=Ta(NEt2)3；[Ta(diethylamido)3(tert-butylimido)]
• CAS: 169896-41-7
• 化学式: C₁₆H₃₉N₄Ta
• 分子量: 468.46
• InChiKey: YYKBKTFUORICGA-UHFFFAOYSA-N

物化性质

• 沸点：
  90°C/0.1mm
• 密度：
  1.252 g/mL at 25 °C (lit.)
• 闪点：
  115 °F
• 稳定性/保质期：
  在常温常压下保持稳定，应避免与氧化物、水、光线及火焰接触。

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  3.89
• 重原子数：
  21.0
• 可旋转键数：
  9.0
• 环数：
  0.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  1.0
• 拓扑面积：
  22.08
• 氢给体数：
  0.0
• 氢受体数：
  1.0

安全信息

• TSCA：
  No
• 危险等级：
  4.3
• 危险品标志：
  C
• 安全说明：
  S26
• 危险类别码：
  R10
• WGK Germany：
  3
• 危险品运输编号：
  UN 3398 4.3/PG 2
• 包装等级：
  II
• 危险类别：
  4.3
• 危险标志：
  GHS02,GHS05
• 危险性描述：
  H226,H261,H314
• 危险性防范说明：
  P231 + P232,P280,P305 + P351 + P338,P310,P422
• 储存条件：
  常温下应存于密闭、阴凉、通风干燥的地方。

SDS

---

模块 1. 化学品
1.1 产品标识符
: 三(二乙基氨基)叔丁酰胺钽
产品名称
1.2 鉴别的其他方法
Tris(diethylamino)(tert-butylimino)tantalum(V), TBTDET
1.3 有关的确定了的物质或混合物的用途和建议不适合的用途
仅用于研发。不作为药品、家庭或其它用途。

---

模块 2. 危险性概述
2.1 GHS-分类
易燃液体 (类别 3)
遇水放出易燃气体的物质 (类别 2)
皮肤腐蚀 (类别 1B)
严重眼睛损伤 (类别 1)
2.2 GHS 标记要素，包括预防性的陈述
象形图
警示词 危险
危险申明
H226 易燃液体和蒸气
H261 遇水放出易燃气体。
H314 造成严重皮肤灼伤和眼损伤。
警告申明
预防措施
P210 远离热源、火花、明火和热表面。- 禁止吸烟。
P223 因会发生剧烈反应和可能发生闪燃，需避免任何与水接触的可能。
P231 + P232 在惰性气体下操作。 防潮。
P233 保持容器密闭。
P240 容器和接收设备接地。
P241 使用防爆的电气/ 通风/ 照明 设备。
P242 只能使用不产生火花的工具。
P243 采取措施，防止静电放电。
P264 操作后彻底清洁皮肤。
P280 戴防护手套/穿防护服/戴护目镜/戴面罩.
事故响应
P301 + P330 + P331 如果吞咽：漱口，不要催吐。
P303 + P361 + P353 如果皮肤(或头发)接触：立即除去/脱掉所有沾污的衣物，用水清洗皮肤/淋
浴。
P304 + P340 如吸入: 将患者移到新鲜空气处休息，并保持呼吸舒畅的姿势。
P305 + P351 + P338 如与眼睛接触，用水缓慢温和地冲洗几分钟。如戴隐形眼镜并可方便地取
出，取出隐形眼镜，然后继续冲洗.
P310 立即呼叫中毒控制中心或医生.
P321 具体处置（见本标签上提供的急救指导）。
P335 + P334 掸掉皮肤上的细小颗粒，浸入冷水/用湿绷带包扎。
P363 沾污的衣服清洗后方可再用。
P370 + P378 火灾时： 用干的砂子，干的化学品或耐醇性的泡沫来灭火。
安全储存
P402 + P404 存放于干燥处/密闭的容器中。
P403 + P235 保持低温，存放于通风良好处。
P405 存放处须加锁。
废弃处置
P501 将内容物/ 容器处理到得到批准的废物处理厂。
2.3 其它危害物
遇水剧烈反应。

---

模块 3. 成分/组成信息
3.1 物 质
: Tris(diethylamino)(tert-butylimino)tantalum(V), TBTDET
别名
: C16H39N4Ta
分子式
: 468.46 g/mol
分子量
组分 浓度或浓度范围
Tris(diethylamido)(tert-butylimido)tantalum(V)
-
化学文摘登记号(CAS 169896-41-7
No.)

---

模块 4. 急救措施
4.1 必要的急救措施描述
一般的建议
请教医生。 向到现场的医生出示此安全技术说明书。
吸入
如果吸入,请将患者移到新鲜空气处。 如呼吸停止,进行人工呼吸。 请教医生。
皮肤接触
立即脱掉被污染的衣服和鞋。 用肥皂和大量的水冲洗。 请教医生。
眼睛接触
用大量水彻底冲洗至少15分钟并请教医生。
食入
禁止催吐。 切勿给失去知觉者通过口喂任何东西。 用水漱口。 请教医生。
4.2 主要症状和影响，急性和迟发效应
该物质对粘膜组织和上呼吸道、眼睛和皮肤破坏巨大。, 痉挛，发炎，咽喉肿痛, 痉挛，发炎，支气管炎, 肺炎,
肺水肿, 灼伤感：, 咳嗽, 喘息, 喉炎, 呼吸短促, 头痛, 恶心
4.3 及时的医疗处理和所需的特殊处理的说明和指示
无数据资料

---

模块 5. 消防措施
5.1 灭火介质
灭火方法及灭火剂
干粉
5.2 源于此物质或混合物的特别的危害
碳氧化物, 氮氧化物, 氧化钽
5.3 给消防员的建议
如必要的话,戴自给式呼吸器去救火。
5.4 进一步信息
无数据资料

---

模块 6. 泄露应急处理
6.1 作业人员防护措施、防护装备和应急处置程序
使用个人防护用品。 避免吸入蒸气、烟雾或气体。 保证充分的通风。 移去所有火源。
人员疏散到安全区域。 谨防蒸气积累达到可爆炸的浓度。蒸气能在低洼处积聚。
6.2 环境保护措施
如能确保安全，可采取措施防止进一步的泄漏或溢出。 不要让产品进入下水道。
6.3 泄漏化学品的收容、清除方法及所使用的处置材料
围堵溢出，用防电真空清洁器或湿刷子将溢出物收集起来，并放置到容器中去,根据当地规定处理(见第13部
分)。 不要用水冲洗。
6.4 参考其他部分
丢弃处理请参阅第13节。

---

模块 7. 操作处置与储存
7.1 安全操作的注意事项
避免吸入蒸气和烟雾。
切勿靠近火源。－严禁烟火。采取措施防止静电积聚。
7.2 安全储存的条件,包括任何不兼容性
贮存在阴凉处。 使容器保持密闭，储存在干燥通风处。
打开了的容器必须仔细重新封口并保持竖放位置以防止泄漏。
贮存期间严禁与水接触。
充气操作和储存 对空气敏感。
7.3 特定用途
无数据资料

---

模块 8. 接触控制和个体防护
8.1 容许浓度
最高容许浓度
没有已知的国家规定的暴露极限。
8.2 暴露控制
适当的技术控制
根据良好的工业卫生和安全规范进行操作。 休息前和工作结束时洗手。
个体防护设备
眼/面保护
紧密装配的防护眼镜请使用经官方标准如NIOSH (美国) 或 EN 166(欧盟)
检测与批准的设备防护眼部。
皮肤保护
戴手套取 手套在使用前必须受检查。
请使用合适的方法脱除手套(不要接触手套外部表面),避免任何皮肤部位接触此产品.
使用后请将被污染过的手套根据相关法律法规和有效的实验室规章程序谨慎处理. 请清洗并吹干双手
所选择的保护手套必须符合EU的89/686/EEC规定和从它衍生出来的EN 376标准。
身体保护
全套防化学试剂工作服, 阻燃防静电防护服,
防护设备的类型必须根据特定工作场所中的危险物的浓度和数量来选择。
呼吸系统防护
如危险性评测显示需要使用空气净化的防毒面具，请使用全面罩式多功能防毒面具（US）或ABEK型
（EN
14387）防毒面具筒作为工程控制的候补。如果防毒面具是保护的唯一方式，则使用全面罩式送风防
毒面具。 呼吸器使用经过测试并通过政府标准如NIOSH（US）或CEN（EU）的呼吸器和零件。

---

模块 9. 理化特性
9.1 基本的理化特性的信息
a) 外观与性状
形状: 液体
b) 气味
无数据资料
c) 气味阈值
无数据资料
d) pH值
无数据资料
e) 熔点/凝固点
无数据资料
f) 沸点、初沸点和沸程
95 °C 在 0.7 hPa
g) 闪点
46 °C - 闭杯
h) 蒸发速率
无数据资料
i) 易燃性(固体,气体)
无数据资料
j) 高的/低的燃烧性或爆炸性限度 无数据资料
k) 蒸气压
无数据资料
l) 蒸汽密度
无数据资料
m) 密度/相对密度
1.252 g/cm3 在 25 °C
n) 水溶性
无数据资料
o) n-辛醇/水分配系数
无数据资料
p) 自燃温度
无数据资料
q) 分解温度
无数据资料
r) 粘度
无数据资料

---

模块 10. 稳定性和反应活性
10.1 反应性
无数据资料
10.2 稳定性
无数据资料
10.3 危险反应
遇水剧烈反应。
10.4 应避免的条件
热,火焰和火花。 暴露在潮湿中。
10.5 不相容的物质
强氧化剂强氧化剂
10.6 危险的分解产物
其它分解产物 - 无数据资料

---

模块 11. 毒理学资料
11.1 毒理学影响的信息
急性毒性
无数据资料
皮肤刺激或腐蚀
无数据资料
眼睛刺激或腐蚀
无数据资料
呼吸道或皮肤过敏
无数据资料
生殖细胞致突变性
无数据资料
致癌性
IARC:
此产品中没有大于或等于 0。1%含量的组分被 IARC鉴别为可能的或肯定的人类致癌物。
生殖毒性
无数据资料
特异性靶器官系统毒性（一次接触）
无数据资料
特异性靶器官系统毒性（反复接触）
无数据资料
吸入危险
无数据资料
潜在的健康影响
吸入 吸入可能有害。 该物质对组织、粘膜和上呼吸道破坏力强
摄入 如服入是有害的。 引致灼伤。
皮肤 通过皮肤吸收可能有害。 引起皮肤灼伤。
眼睛 引起眼睛灼伤。
接触后的征兆和症状
该物质对粘膜组织和上呼吸道、眼睛和皮肤破坏巨大。, 痉挛，发炎，咽喉肿痛, 痉挛，发炎，支气管炎, 肺炎,
肺水肿, 灼伤感：, 咳嗽, 喘息, 喉炎, 呼吸短促, 头痛, 恶心
附加说明
化学物质毒性作用登记: 无数据资料

---

模块 12. 生态学资料
12.1 生态毒性
无数据资料
12.2 持久性和降解性
无数据资料
12.3 潜在的生物累积性
无数据资料
12.4 土壤中的迁移性
无数据资料
12.5 PBT 和 vPvB的结果评价
无数据资料
12.6 其它不良影响
无数据资料

---

模块 13. 废弃处置
13.1 废物处理方法
产品
在装备有加力燃烧室和洗刷设备的化学焚烧炉内燃烧处理,特别在点燃的时候要注意,因为此物质是高度易燃
性物质 将剩余的和不可回收的溶液交给有许可证的公司处理。
受污染的容器和包装
按未用产品处置。

---

模块 14. 运输信息
14.1 联合国危险货物编号
欧洲陆运危规: 3398 国际海运危规: 3398 国际空运危规: 3398
14.2 联合国运输名称
欧洲陆运危规: ORGANOMETALLIC SUBSTANCE, LIQUID, WATER-REACTIVE (Tris(diethylamido)(tert-
butylimido)tantalum(V))
国际海运危规: ORGANOMETALLIC SUBSTANCE, LIQUID, WATER-REACTIVE (Tris(diethylamido)(tert-
butylimido)tantalum(V))
国际空运危规: Organometallic substance, liquid, water-reactive (Tris(diethylamido)(tert-
butylimido)tantalum(V))
14.3 运输危险类别
欧洲陆运危规: 4.3 国际海运危规: 4.3 国际空运危规: 4.3
14.4 包裹组
欧洲陆运危规: II 国际海运危规: II 国际空运危规: II
14.5 环境危险
欧洲陆运危规: 否 国际海运危规 国际空运危规: 否
海洋污染物（是/否）: 否
14.6 对使用者的特别提醒
无数据资料

---

模块 15 - 法规信息
N/A

---

模块16 - 其他信息
N/A

反应信息

• 作为反应物：
  描述：

  三(二乙基氨基)叔丁酰胺钽 生成 tantalum nitride
  参考文献：
  名称：

  叔丁基亚氨基三（二乙基酰胺）钽金属有机化学气相沉积氮化钽用于高级金属化

  摘要：

  我们使用新的前体叔丁基亚氨基三（二乙基酰胺）钽（TBTDET）通过低压金属有机化学气相沉积（LP-MOCVD）沉积了氮化钽（TaN）薄膜。前体中的强 Ta-N 双键在热解过程中保留了“TaN”部分。这种方法已经产生了低电阻率的薄膜。它从 10 mΩ cm（在 500 °C 下沉积）变为 920 μΩ cm（在 650 °C 下获得）。通过 X 射线光电子能谱测定，在 600 °C 下沉积的薄膜中的碳和氧浓度较低。透射电子显微镜和 X 射线衍射分析表明，沉积的薄膜表现出多晶结构，晶格常数接近体态 TaN 值。TaN 阻挡层成功地用作 CVD 钨 (W) 金属化方案的胶层。

  DOI：

  10.1063/1.114983
• 作为产物：
  描述：

  lithium diethylamide 、 Ta(^tBu-imido)Cl₃(py)₂ 以 正己烷 为溶剂， 以65%的产率得到三(二乙基氨基)叔丁酰胺钽
  参考文献：
  名称：

  Syntheses and characterization of organoimido complexes of tantalum; potential single-source precursors to tantalum nitride

  摘要：

  New single-source precursor to tantalum nitride thin films, ((BuN)-N-t)Ta(NEt2)(3), and related complexes, (RN)Ta(NEt2)(3) (R = Pr-i and Pr-n), were prepared by reacting corresponding (RN)TaCl(3)py(2) complexes (R = Bu-t, Pr-i and Pr-n) with LiNEt2 in hydrocarbon solvents. The structure of ((BuN)-N-t)TaCl(3)py(2) was determined by X-ray crystallography. (C) 1998 Elsevier-Science Ltd. All rights reserved.

  DOI：

  10.1016/s0277-5387(98)00051-5

文献信息

• Diligating Tripodal Amido-Phosphine Ligands:  the Effect of a Proximal Antipodal Early Transition Metal on Phosphine Donor Ability in a Building Block for Heterometallic Complexes
  作者：Hua Han、Mona Elsmaili、Samuel A. Johnson

  DOI：10.1021/ic060692d

  日期：2006.9.1

  P(CH2NH-3,5-(CF3)2C6H3)3 (1a), P(CH2NHPh)3 (1b), and P(CH2NH-3,5-Me2C6H3)3 (1c), react with the reagents Ti(NMe2)4 and tBuN=Ta(NEt2)3 to generate metal complexes of the type P(CH2NAr(R))3TiNMe2 (2a-c) and P(CH2NAr(R))3Ta=NtBu (3a-c) (where Ar(R) = 3,5-(CF3)2C6H3, Ph, and 3,5-Me2C6H3). Due to ring strain, the phosphine lone pair cannot chelate and is available to bind a second metal, and this feature can

  配体前体P（CH2NH-3,5-（CF3）2C6H3）3（1a），P（CH2NHPh）3（1b）和P（CH2NH-3,5-Me2C6H3）3（1c）与试剂反应Ti（NMe2）4和tBuN = Ta（NEt2）3生成P（CH2NAr（R））3TiNMe2（2a-c）和P（CH2NAr（R））3Ta = NtBu（3a-c）类型的金属配合物（其中Ar（R）= 3,5-（CF3）2C6H3，Ph和3,5-Me2C6H3）。由于环应变，膦孤对不能螯合并且可用于结合第二种金属，并且该特征可用于合成杂金属多核络合物。在早期过渡金属与酰胺供体的配位过程中观察到的31P化学位移很大，并且在这些配位化合物中CPC结合角增加的方向相反。这些不寻常的变化是由于P-Ti和P-Ta距离明显短于范德华半径之和。2c与Ni（CO）4的反应首先产生双金属配合物（CO）3Ni [P（CH2N-3,5-Me2C6H3）3Ti
• Metal organic compounds containing an amidinate ligand and their use for vapour phase deposition of metal containing thin films
  申请人：L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude

  公开号：EP2065390A1

  公开（公告）日：2009-06-03

  Compound of the formula (I):          (R1NC(R2)NR3)M(=NR4)y[(NR5R6)z1(NR7R8)z2] wherein, y is an integer, y ≥ 1, z1 and z2 are integers, z1 ≥ 0 and z2 ≥ 0, and, 2y + z1 + z2 = 4; M is a group V metal selected from Tantalum (Ta), Niobium (Nb) and Vanadium (V), R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, and R8 which may be identical or different, are independently chosen from Hydrogen atom, linear or branched alkyl groups having from one to six carbon atoms, linear or branched alkoxy groups having from one to six carbon atoms, linear or branched alkylamide groups having from one to six carbon atoms, linear or branched alkylsilylamide groups having from one to six carbon atoms, linear or branched alkylsilyl groups having from one to six carbon atoms.

  化学式（I）的复合物：(R1NC(R2)NR3)M(=NR4)y[(NR5R6)z1(NR7R8)z2]，其中，y是整数，y≥1，z1和z2是整数，z1≥0且z2≥0，且2y+z1+z2=4；M是从钽（Ta）、铌（Nb）和钒（V）中选择的五族金属，R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7和R8可以相同也可以不同，独立地选择氢原子、具有一至六个碳原子的直链或支链烷基、具有一至六个碳原子的直链或支链烷氧基、具有一至六个碳原子的直链或支链烷基酰胺基、具有一至六个碳原子的直链或支链烷基硅氨基基团、具有一至六个碳原子的直链或支链烷基硅基团。
• Mixed hydrazido amido/imido complexes of tantalum, hafnium and zirconium: potential precursors for metal nitrideMOCVD
  作者：Arne Baunemann、Younsoo Kim、Manuela Winter、Roland A. Fischer

  DOI：10.1039/b512074h

  日期：——

  Zr, Hf) or by amine substitution using M(NR(2))(4) (R = Me, Et) and [(t-BuN)Ta(NR(2))(3)]. The new complexes were fully characterised including (1)H/(13)C NMR, mass spectrometry and a study of their thermal behaviour. The crystal structures of [ZrCl(tdmh)(3)] and the all-nitrogen coordinated complex [Ta(N-t-Bu)(NMe(2))(2)(tdmh)] are discussed as well as the structure of the by-product [Li(tdmh)(py)](2)

  针对挥发性混合配体全氮配位化合物，研究了肼衍生物二甲基肼（Hdmh）和N-三甲基甲硅烷基-N'N'-二甲基肼（Htdmh）在Ta，Zr和Hf上的配位化学。通过使用肼和四氯化物MCl（4）（M = Zr，Hf）的Li盐进行复分解或通过使用M（NR（2））（4）（R = Me， Et）和[（t-BuN）Ta（NR（2））（3）]。对新的配合物进行了充分表征，包括（1）H /（13）C NMR，质谱和对它们的热行为的研究。讨论了[ZrCl（tdmh）（3）]的晶体结构和全氮配位化合物[Ta（Nt-Bu）（NMe（2））（2）（tdmh）]的结构，并讨论了-乘积[Li（tdmh）（py）]（2）。
• 一种三(二乙基氨基)叔丁酰胺钽的合成方法
  申请人：苏州复纳电子科技有限公司

  公开号：CN106800572B

  公开（公告）日：2019-09-20

  本发明公开了一种三(二乙基氨基)叔丁酰胺钽的合成方法，该括以下步骤：1)五氯化钽及烷烃混合反应后，向其中加入叔丁胺进行反应，然后再加入吡啶进行反应，反应完成后得到钽络合物悬浊液；2)在正丁基锂·烷烃CnH2n+2溶液中加入二乙胺进行反应，然后加入1)中的钽络合物悬浊液反应；3)将反应得到的液体通过固液分离器除去副产物氯化锂，所得溶液转移到蒸馏器，先减压蒸出烷烃CnH2n+2溶剂，然后再减压蒸出产品三(二乙基氨基)叔丁酰胺钽。该合成方法解决了三(二乙基氨基)叔丁酰胺钽合成操作过程麻烦，收率低，纯度低、成本高的问题。
• Mixed Amido/Imido/Guanidinato Complexes of Tantalum: Effects of Ligand Substitution on Thermal Properties
  作者：Arne Baunemann、Manuela Winter、Karoly Csapek、Christian Gemel、Roland A. Fischer

  DOI：10.1002/ejic.200600653

  日期：2006.11

  discussed. The thermal properties of all complexes have been investigated by TGA/DTA measurements. Thus, complexes originating from diisopropylcarbodiimide (iPr-cdi) are significantly more volatile than complexes derived from dicyclohexylcarbodiimide (cy-cdi). In contrast, variations of R 1 , R 2 , and R 4 have only a small impact on the thermal behavior of the complexes. Finally, selected compounds have

  混合酰氨基/亚氨基/胍基钽配合物[Ta(NR 1 R 2 )C(NR 1 R 2 )(NR 3 ) 2 } 2 (NR 4 )] [R 1 ,R 2 = 甲基，乙基；R 3 = 环己基 (cy)，异丙基；R 4 = 叔丁基，正丙基] 已通过将碳二亚胺插入钽-酰胺键合成。所有化合物均已通过 NMR 光谱、质谱和 CHN 分析进行表征。此外，五种化合物的单晶结构（4：R 1 = Me，R 2 = Et，R 3 = iPr，R 4 = tBu；5：R 1，R 2 = Et，R 3 = iPr，R 4 = tBu ; 6: R 1 , R 2 = Me, R 3 = cy, R 4 = tBu; 8: R 1 , R 2 = Et, R 3 = cy, R 4 = tBu; 9: R 1 , R 2 = Et , R 3 = iPr, R 4 = nPr) 已确定并讨论了相关的结构问题。已通过 TGA/DTA