我们研究了提高压电微机械超声换能器 (pMUT) 效率的方法。pMUT 通过 Si 膜上的压电薄层驱动。通过使用具有更好
铁电特性的薄膜,可以提高 pMUT 的效率。我们在沿着相界(
MPB)组成的
PZT 基薄膜中加入了
锌、
锶和
钇的掺杂,以提高其压电特性。然后将获得的结果扩展到相界的两侧。使用溶胶-凝胶法准备前体溶液,并将其旋涂到 Pt(100)/Ti/SiO₂/Si 基底上以制备
PZT 薄膜。发现
锌和
锶一起对
铁电特性有最显著的影响,其中实现了 108 μC/cm² 的饱和极化和 54 μC/cm² 的剩余极化。