and ion dose. Temperature measurement and control were obtained through an integrated thermocouple and by changing the duty-cycle of the microwave source. The oxygen content and the depth-resolved chemical composition were measured and optimized using x-ray photoelectron spectroscopy (XPS) combined with Ar-ion etching. The tribological properties were investigated by (i) depth-sensing nanoindentation
使用我们的脉冲电子回旋共振等离子体源,通过氧离子注入 [(0.7 到 5) x 10 1 7 O/cm 2 , 30 keV] 来改善纯铝和“航空”合
金 AA7075-T651 的摩擦学性能。这种氧等离子体源离子注入工艺产生了氧化物纳米沉淀物,将表面层的硬度提高了三倍,并通过类似因素导致划痕深度和摩擦系数降低。根据温度和离子剂量获得了一系列摩擦学特性。温度测量和控制是通过集成热电偶和改变微波源的占空比来实现的。使用 X 射线光电子能谱 (XPS) 结合 Ar 离子蚀刻测量和优化氧含量和深度分辨
化学成分。通过 (i) 硬度和杨氏模量的深度传感纳米压痕,(ii) 通过原子力显微镜 (A
FM) 进行划痕和划痕深度测量,以及 (iii) 使用 A
FM 测量摩擦力来研究摩擦学特性。在纯铝和合
金铝中以最佳 O 离子剂量进行低温 (≤ 160 °C) 注入,产生约 50 纳米厚、光滑且颗粒极细的
金属-氧