7-[2-(Methoxymethoxy)ethyl]-2,4,10-trioxa-7-azaundecan-11-OL | 848491-88-3

• 分子结构分类: 有机化合物 - 有机氧化合物
• 英文名称: 7-[2-(Methoxymethoxy)ethyl]-2,4,10-trioxa-7-azaundecan-11-OL
• 英文别名: 2-[bis[2-(methoxymethoxy)ethyl]amino]ethoxymethanol
• CAS: 848491-88-3
• 化学式: C₁₁H₂₅NO₆
• 分子量: 267.32
• InChiKey: UOYSHLAMIGURQT-UHFFFAOYSA-N

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  -0.9
• 重原子数：
  18
• 可旋转键数：
  14
• 环数：
  0.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  1.0
• 拓扑面积：
  69.6
• 氢给体数：
  1
• 氢受体数：
  7

文献信息

• COATING-TYPE COMPOSITION FOR FORMING ORIGINAL FILM, PATTERNING PROCESS, POLYMER, AND METHOD FOR MANUFACTURING POLYMER
  申请人：Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.

  公开号：EP3876035A1

  公开（公告）日：2021-09-08

  The present invention provides a coating-type composition for forming an organic film containing: a polymer having a structure shown by the following general formula (1) as a partial structure; and an organic solvent, where in the formula (1), ring structures Ar1 and Ar2 represent a benzene ring or a naphthalene ring optionally having a substituent, and W1 represents an aryl group having 6 to 30 carbon atoms and optionally having a substituent. This provides a coating-type composition for forming an organic film that can form an organic film having high patterncurving resistance and high dry-etching resistance, the composition being excellent in solvent solubility and having a low generation of defects.

  本发明提供了一种用于形成有机薄膜的涂层型组合物，该组合物包含：具有以下通式（1）所示结构的聚合物，作为部分结构；以及有机溶剂，其中在式（1）中，环结构 Ar1 和 Ar2 代表可选具有取代基的苯环或萘环，W1 代表具有 6 至 30 个碳原子且可选具有取代基的芳基。这就提供了一种用于形成有机薄膜的涂层型组合物，该组合物可以形成具有高抗图案弯曲性和高抗干蚀刻性的有机薄膜，而且该组合物具有优异的溶剂溶解性和较低的缺陷产生率。