2-methyl-2-{2-(5-norbornen-2-yl)ethyl}-1,3-dioxolane | 443648-60-0

• 分子结构分类: 有机化合物 - 有机氧化合物
• 英文名称: 2-methyl-2-{2-(5-norbornen-2-yl)ethyl}-1,3-dioxolane
• 英文别名: 2-[2-(2-Bicyclo[2.2.1]hept-5-enyl)ethyl]-2-methyl-1,3-dioxolane
• CAS: 443648-60-0
• 化学式: C₁₃H₂₀O₂
• 分子量: 208.301
• InChiKey: AKFYNWSGWFWPHW-UHFFFAOYSA-N

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  2.6
• 重原子数：
  15
• 可旋转键数：
  3
• 环数：
  3.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  0.85
• 拓扑面积：
  18.5
• 氢给体数：
  0
• 氢受体数：
  2

文献信息

• Acetal compound, polymer, resist composition and patterning response
  申请人：Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.

  公开号：US20020132970A1

  公开（公告）日：2002-09-19

  Acetal compounds in which a 5- or 6-membered ring acetal structure is connected to a norbornene structure through a linker represented by —(CH 2 ) m — in which one hydrogen atom may be substituted with a hydroxyl or acetoxy group, and m is from 1 to 8 are novel. Using the acetal compounds as a monomer, polymers are obtained. A resist composition comprising the polymer as a base resin is sensitive to high-energy radiation and has excellent sensitivity, resolution, and etching resistance.

  新颖的乙缩醛化合物，其中5-或6-成员环乙缩醛结构通过一个连接基团（表示为—（CH2）m—，其中一个氢原子可以被羟基或乙酰氧基取代，m为1至8）连接到诺博烯结构上。使用乙缩醛化合物作为单体，可以获得聚合物。以该聚合物为基础树脂的抗蚀剂组合物对高能辐射具有敏感性，并具有优异的敏感性、分辨率和蚀刻抗性。
• US6515149B2
  申请人：——

  公开号：US6515149B2

  公开（公告）日：2003-02-04
• US6962767B2
  申请人：——

  公开号：US6962767B2

  公开（公告）日：2005-11-08