| 485394-94-3

• 分子结构分类: 有机化合物 - 有机氧化合物
• CAS: 485394-94-3
• 化学式: C₄₂H₇₅DyO₆
• 分子量: 838.554
• InChiKey: YPKUGDZXRMOZOG-MMGBEIHJSA-N

反应信息

• 作为反应物：
  描述：

  、 、 氧气 以 正辛烷 为溶剂， 生成 dysprosium scandate
  参考文献：
  名称：

  钪酸镝薄膜作为金属有机化学气相沉积制备的替代非晶栅极氧化物

  摘要：

  钆镝 (DyScO3) 薄膜使用金属有机化学气相沉积法沉积在 Si 衬底上。使用单独的 Dy 和 Sc 源前体，沉积温度范围为 480 至 700°C。薄膜是无定形的，具有低均方根粗糙度（⩽2A），并且在高达 1050°C 的退火温度下稳定。电气特性产生的 CV 曲线具有可忽略的滞后 (<10mV)、高介电常数 (~22) 和低漏电流。对于原生氧化物上的薄膜，DyScO3∕SiOx∕Si 叠层的电学性能在高达 800°C 时保持稳定；然而，对于特殊化学生长氧化物上的薄膜，该限制增加到 900°C，这表明通过适当的扩散势垒可以进一步改进。

  DOI：

  10.1063/1.2402121