申请人:住友化学株式会社
公开号:JP2018138541A
公开(公告)日:2018-09-06
【課題】良好なCD均一性(CDU)でレジストパターンを製造することができる塩及び該塩を含むレジスト組成物の提供。【解決手段】式(I)で表される塩。[R1及びR2は、それぞれ独立に、H、又は炭素数1〜12の炭化水素基等; m及びnは、それぞれ独立に、1又は2;Arは、置換/無置換の芳香族炭化水素基; X1は、−O−又は−S−; A1は、炭素数1〜6のアルカンジイル基; X2は、−O−又は−O−CO−O−等; R3は、置換/無置換の炭素数1〜24の炭化水素基等]【選択図】なし
提供含有盐和所述盐的光刻胶组合物,可用于制备具有良好CD均一性(CDU)的光刻图案。所述盐由式(I)表示。[R1和R2分别独立地表示氢,或者碳数为1〜12的烃基等;m和n分别独立地表示1或2;Ar表示取代/未取代的芳香族烃基;X1表示-O-或-S-;A1表示碳数为1〜6的烷基;X2表示-O-或-O-CO-O-等;R3表示取代/未取代的碳数为1〜24的烃基等]【选择图】无