[EN] DYNAMIC MULTI-PURPOSE COMPOSITION FOR THE REMOVAL OF PHOTORESISTS AND METHOD FOR ITS USE<br/>[FR] COMPOSITION DYNAMIQUE POLYVALENTE D'ELIMINATION DE RESERVE ET SON PROCEDE D'UTILISATION
申请人:DYNALOY LLC
公开号:WO2007053363A2
公开(公告)日:2007-05-10
[EN] Improved dry stripper solutions for removing one, two or more photoresist layers from substrates are provided. The stripper solutions comprise dimethyl sulfoxide, a quaternary ammonium hydroxide, and an alkanolamine, an optional secondary solvent and less than about 3 wt.% water and/or a dryness coefficient of at least about 1. Methods for the preparation and use of the improved dry stripping solutions are additionally provided.
[FR] L'invention porte sur des solutions de décapant améliorées pouvant éliminer une ou plusieurs couches de réserve d'un substrat. Lesdites solutions comprennent: du diméthyl sulfoxyde, un hydroxyde d'ammonium quaternaire, une alcanoamine, facultativement un deuxième solvant, et moins d'environ 3 % en poids d'eau, et présentant un indice de siccité d'au moins environ 1. L'invention porte également sur leur procédé de préparation et d'utilisation.