[EN] PROCESS FOR PREPARING PHOTOACTIVE COUMARIN DERIVATIVES<br/>[FR] PROCEDE DE PREPARATION DE DERIVES COUMARINIQUES PHOTOACTIFS
申请人:CLARIANT INTERNATIONAL LTD.
公开号:WO1998039317A1
公开(公告)日:1998-09-11
(EN) Novel processes for the preparation of a new class of coumarin derivatives, which are useful as photoactive compounds in a wide variety of applications including photoresists and other opto-electronic applications, are disclosed and claimed. The process involves a multi-step synthetic method for the preparation of ether, ester, carbonate, or sulfonate derivative of 5-hydroxy, 6-hydroxy, or 7-hydroxy-3-diazo-4-oxo-3,4-dihydrocoumarin starting from the corresponding dihydroxyacetophenone. The compounds formed from the process of the present invention exhibit very high photosensitivity in the deep ultraviolet (DUV) region (ca. 250 nm), and therefore, are useful as photoactive compounds in DUV photoresist formulations.(FR) De nouveaux procédés de préparation d'une nouvelle classe de dérivés de coumarine, lesquels sont utiles en tant que composés photoactifs dans une large variété d'applications notamment comme photorésists et dans d'autres applications optoélectroniques, sont décrits et revendiqués. Le procédé compend une méthode de synthèse à étapes multiples permettant la préparation d'un dérivé éther, ester, carbonate ou sulfonate de 5-hydroxy, 6-hydroxy ou 7-hydroxy-3-diazo-4-oxo-3,4-dihydrocoumarine à partir de la dihydroxyacétophénone correspondante. Les composés formés à partir du procédé de la présente invention présentent une photosensibilité très élevée dans la région de l'ultraviolet profond (DUV) (ca. 250nm), et par conséquent ils sont utiles en tant que composés photoactifs dans des formulations de photorésist DUV.