[DE] SULFONSÄUREESTER, DAMIT HERGESTELLTE STRAHLUNGSEMPFINDLICHE GEMISCHE UND DEREN VERWENDUNG<br/>[EN] SULPHONIC ACID ESTERS, RADIATION-SENSITIVE MIXTURES MADE THEREWITH, AND THEIR USE<br/>[FR] ESTERS D'ACIDE SULFONIQUE, MELANGES RADIOSENSIBLES REALISES AVEC, ET LEUR UTILISATION
申请人:HOESCHT AKTIENGESELLSCHAFT
公开号:WO1994018606A1
公开(公告)日:1994-08-18
(DE) Die Erfindung betrifft Sulfonsäureester und damit hergestellte strahlungsempfindliche, positiv oder negativ arbeitende Gemische mit a) einer bei Bestrahlung eine starke Säure bildenden Verbindung, b) entweder einer Verbindung mit mindestens einer durch Säure spaltbaren C-O-C- oder C-O-Si-Bindung (für ein positiv arbeitendes Gemisch) oder einer Verbindung mit mindestens zwei durch Säure vernetzbaren Gruppen (für ein negativ arbeitendes Gemisch) und c) einem in Wasser unlöslichen, in wäßrig-alkalischen Lösungen dagegen löslichen oder zumindest quellbaren Bindemittel, wobei die Verbindung a) ein Sulfonsäureester der Formeln [R1-CR2(CF3)-O-SO2-]nR3 oder R1[-CR2(CF3)-O-SO2-R3]m ist. Die Gemische zeigen eine unerwartet hohe Empfindlichkeit im DUV-Bereich und eine Verbesserung des Auflösungsvermögens. Ganz besonders vorteilhaft ist es, daß die Gemische gegenüber Änderungen der Lagerzeit zwischen Belichtung und Nacherwärmung weitgehend unempfindlich sind.(EN) The invention relates to sulphonic acid esters and radiation-sensitive, positive or negative tone mixtures made therewith, with: a) a compound forming a strong acid on irradiation; b) either a compound with at least one acid-decomposable C-O-C or C-O-Si bond (for a positive tone mixture) or a compound with at least acid-cross-linkable groups (for a negative tone mixture) and c) a water-insoluble binder which however is soluble or at least wettable in aqueous-alkaline solutions, in which compound a) is a sulphonic acid ester of the formulae [R1-CR2(CF3)-O-SO2-]nR3 or R1[-CR2(CF3)-O-SO2-R3]m. The mixtures exhibit unexpectedly high sensitivity in the DUV range and improved resolution. It is especially advantageous that the mixtures are insensitive to changes in the storage time between exposure and post-heating.(FR) L'invention concerne des esters d'acide sulfonique et des mélanges radiosensibles à comportement de positif ou de négatif réalisés avec, qui comprennent: a) un composé formant un acide fort sous irradiation, b) un composé ayant au moins une liaison C-O-C ou C-O-Si décomposable par de l'acide (pour un mélange à comportement de positif) ou bien un composé ayant au moins deux groupes réticulables par de l'acide (pour un mélange à comportement de négatif) et c) un liant insoluble dans l'eau, mais cependant soluble ou pouvant au moins gonfler dans des solutions alcalino-aqueuses, le composé a) étant un ester d'acide sulfonique des formules [R1-CR2(CF3)-O-SO2-]nR3 ou [R1-CR2(CF3)-O-SO2-R3]m. Les mélanges présentent une sensibilité particulièrement importante dans le domaine des ultraviolets lointains et améliorent la solubilité. Il est particulièrement avantageux que les mélanges soient nettement insensibles aux modifications inhérentes à la durée de stockage entre l'exposition à la lumière et le réchauffage.
这项发明涉及硫酸酸酐酯及其制成的辐射敏感的正或负混合物,这些混合物具有以下特性:
a) 在受到辐照时能形成强酸的化合物;
b) 要么包含至少一个能被酸解离的C-O-C或C-O-Si键(用于正作用混合物);要么包含至少能通过酸连接的基团(用于负作用混合物);
c) 它是一个在水中不溶解的结合剂,但在碱性水溶液中是溶解的,或者至少是可 взять的,并且化合物a)是硫酸酸酐酯,分子式为[R1-CR2(CF3)-O-SO2-]nR3 或 [R1-CR2(CF3)-O-SO2-R3]m。
这些混合物在紫外区表现出特别高的灵敏度,并能显著提高解离能力。特别 advantageous的是,混合物对光照前后保存时间的改变几乎不反应。