Die Erfindung betrifft Copolymerisate mit o-Nitrocarbinolestergruppierungen, die Herstellung von Zweilagenresisten und Halbleiterbauelementen.
Die erfindungsgemäßen Copolymerisate enthalten 5 bis 50 Mol.% Monomere mit o-Nitrocarbinolestergruppierungen, 95 bis 50 Mol.% einer olefinisch ungesättigten Silizium enthaltenden organischen Verbindung, 0 bis 20 Mol.% einer olefinisch ungesättigten Carbonsäure sowie 0 bis 25 Mol.% anderer copolymerisierbarer Monomerer.
Sie eignen sich besonders zur Herstellung von Zweilagenresisten und Halbleiterbauelementen.
本发明涉及邻
硝基甲醇酯基的共聚物、双层抗蚀剂和半导体器件的生产。 根据本发明,共聚物含有 5 至 50 摩尔%的邻
硝基甲醇酯基单体、95 至 50 摩尔%的烯烃不饱和含
硅有机化合物、0 至 20 摩尔%的烯烃不饱和
羧酸和 0 至 25 摩尔%的其他可共聚单体。 它们特别适用于生产双层抗蚀剂和半导体器件。