申请人:OCG Microelectronic Materials Inc.
公开号:EP0601974A1
公开(公告)日:1994-06-15
Polymere mit einem Molekulargewicht (Gewichtsmittel) Mw von 103 bis 106 enthaltend wiederkehrende Struktureinheiten der Formeln (I), (Ila) und (Ilb)
worin R1 Wasserstoff oder Methyl bedeutet, Y für eine direkte Bindung oder einen zweiwertigen Rest der Formel (III) steht,
worin Z eine an den Phenylkern gebundene C1-C6-Alkylengruppe bedeutet, OR2 einen säurespaltbaren Rest darstellt,
worin R2 C4-C10-tert.-Alkyl, unsubstituiertes oder durch eine oder mehrere C1-C6-Alkylgruppen, C1-C6-Alkoxygruppen oder Halogenatome substituiertes Allyl, Cyclohex-2-enyl, C6-C14-Aryl oder C7-C16-Aralkyl, Trialkylsilyl,
oder eine Gruppe der Formeln (IV)-(VII) darstellt
worin R8 C1-C6-Alkyl oder unsubstituiertes oder durch eine oder mehrere C1-C6-Alkylgruppen, C1-C6-Alkoxygruppen oder Halogenatome substituiertes C6-C14-Aryl oder C7-C16-Aralkyl bedeutet,
R3 und R4 unabhängig voneinander für Wasserstoff, C1-C6-Alkylgruppen, C1-C6-Alkoxygruppen oder Halogenatome stehen,
R5 und R6 unabhängig voneinander Wasserstoff oder Methyl bedeuten,
X für C1-C6-Alkylen und R7 für C1-C6-Alkyl, unsubstituiertes oder durch eine oder mehrere C1-C6-Alkylgruppen, C1-C6-Alkoxygruppen oder Halogenatome substituiertes C6-C14-Aryl oder C7-C16-Aralkyl oder für -CO-R8 steht, worin R8 die gleiche Bedeutung wie in Formel (IV) hat,
eignen sich in zur Verwendung in DUV-Positiv-Photoresists, die stark reduzierte delay time-Effekte zeigen und sich durch hohe thermische Stabilität und hohes Auflösungsvermögen auszeichnen.
分子量(平均重量)Mw 为 103-106 的聚合物,含有式 (I)、(Ila) 和 (Ilb) 的重复结构单元
其中 R1 为氢或甲基,Y 为直接键或式(III)的二价基、
其中 Z 代表与苯基核键合的 C1-C6 亚烷基,OR2 代表可被酸裂解的基、
其中 R2 是 C4-C10 叔烷基、未被取代或被一个或多个 C1-C6 烷基、C1-C6-烷氧基或卤素原子取代的烯丙基、环己-2-烯基、C6-C14 芳基或 C7-C16 芳基、三烷基硅烷基、
或式 (IV)-(VII) 的基团
其中 R8 是未被取代或被一个或多个 C1-C6 烷基、C1-C6 烷氧基或卤素原子取代的 C1-C6 烷基或 C6-C14 芳基或 C7-C16 芳基、
R3 和 R4 各自代表氢、C1-C6 烷基、C1-C6 烷氧基或卤素原子、
R5 和 R6 各自代表氢或甲基、
X 是 C1-C6 烷基,R7 是未被取代或被一个或多个 C1-C6 烷基、C1-C6 烷氧基或卤素原子取代的 C1-C6 烷基、C6-C14 芳基或 C7-C16 芳基,或者是 -CO-R8,其中 R8 与式(IV)中的含义相同、
适用于 DUV 阳性光刻胶,可大大降低延迟时间效应,并具有高热稳定性和高分辨率的特点。