【課題】 金属酸化物膜を作製するための材料として有用な第5族金属オキソ−アルコキソ錯体を短時間で効率よく製造する方法を提供する。【解決手段】 第5族金属アルコキシド;アンモニア、第一級アミン又は第二級アミン;カルボニル化合物を40℃以上の温度で反応させることにより、第5族金属オキソ−アルコキソ錯体を短時間で効率よく製造する。【選択図】 なし
提供一种在短时间内高效制备第5族金属氧化物膜的材料,即第5族
金属氧-醇醚络合物的方法。通过在40摄氏度以上的温度下使第5族
金属醇醚氧化物与
氨、一级胺或二级胺以及羰基化合物反应,可以高效地在短时间内制备第5族
金属氧-醇醚络合物。