本发明公开了一类含
硅的多苯基单分子
树脂,具有如下分子结构:其中,式(I)中R0、Ra1~Ra12相同或不同,式(II)中R0、Rb1~Rb18相同或不同,均各自独立地表示氢原子、羟基、烷氧基或酸敏感性取代基,条件是每个苯环上至少有一个取代基不为氢原子,R0表示氢原子、羟基、烷氧基或酸敏感性取代基,式(I)中的Rx和Ry相同或不同,各自独立表示烷基、环烷基、苯基或取代苯基,式(II)中Rz表示烷基、环烷基、苯基或取代苯基。本发明中含
硅多苯基单分子
树脂在各种极性溶剂中都具有很好的溶解性,适于制成薄膜,同时,具有很高的
玻璃化转变温度,能够很好的满足光刻工艺的要求。本发明还公开了包括上述含
硅多苯基单分子
树脂的光刻胶组合物,并制得不同厚度的用于光刻的光刻胶涂层。