本发明涉及光刻胶技术领域,具体公开了一种含β‑桉
叶醇结构的锍鎓盐类光致产酸剂及其制备方法,所述光致产酸剂包括阴离子和阳离子,所述阴离子与所述阳离子分别具有如下结构:其中R表示烷基、环烷基、杂烷基或杂环烷基,P1、P2和P3分别独立地表示氢原子或者具有1至12个碳原子的任选取代的烷基。本发明制备的光致酸产生剂在具有良好亲
水性的同时可以提高在有机溶剂中的溶解性,能有效抑制酸的扩散。本发明还提供了所述含β‑桉
叶醇结构的锍鎓盐类光致产酸剂的制备方法,通过以β‑桉
叶醇为反应起始物进行反应后再与卤化锍进行反应得到含β‑桉
叶醇结构的锍鎓盐类光致产酸剂,制备方法简单。