双(二乙基氨基)硅烷 | 27804-64-4

• 物质功能分类: 有机原料 - 有机硅化合物
• 分子结构分类: 有机化合物 - 有机盐 - 有机金属盐
• 中文名称: 双(二乙基氨基)硅烷
• 中文别名: 双（二乙氨基）硅烷
• 英文名称: bis(diethylamino)silane
• 英文别名: bis(diethylamino)silan；[(Diethylamino)silyl]diethylamine；N-(diethylaminosilyl)-N-ethylethanamine
• CAS: 27804-64-4
• 化学式: C₈H₂₂N₂Si
• 分子量: 174.362
• InChiKey: OWKFQWAGPHVFRF-UHFFFAOYSA-N

物化性质

• 沸点：
  70°C (30mm)
• 密度：
  0.804

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  0.67
• 重原子数：
  11
• 可旋转键数：
  6
• 环数：
  0.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  1.0
• 拓扑面积：
  6.5
• 氢给体数：
  0
• 氢受体数：
  2

制备方法与用途

双(二乙基氨基)硅烷 (BDEAS)

双(二乙基氨基)硅烷 (BDEAS) 可用作原子层沉积（ALD）膜的前驱体材料。

制备

目前，二烷基氨基硅烷主要通过氯硅烷与二烷基胺反应的方法合成。然而，在此过程中除了目标产物外还大量生成二烷基胺盐酸盐副产物。因此，在制备目标产品时需防止由于溶剂体积导致的效率降低问题，从而实现低成本的大规模生产。

作为反应的溶剂，选择对氯硅烷副产的二烷基胺盐酸盐及金属氯化物具有良好溶解度且能高效溶解二烷基氨基硅烷、同时难以溶解卤素化合物的非质子极性溶剂（如N,N-二甲基乙酰胺）或直链烃和分支状烃。通过这种方法，可以有效减少卤素含量并提高体积效率。

精馏是常用的一种提纯方式，能够进一步降低双(二乙基氨基)硅烷中的氯成分。现有专利和技术多采用精馏法，但BDEAS的纯度通常难以超过99.99%。

健康危害

• 急性毒性 - 口服：类别3
• 急性毒性 - 吸入（粉尘/气雾）：类别4
• 急性毒性 - 吸入（蒸汽）：类别4
• 急性毒性 - 吸入（气体）：类别4

反应信息

• 作为反应物：
  描述：

  双(二乙基氨基)硅烷 在 二碘硅烷 作用下， 以 neat (no solvent) 为溶剂， 以86%的产率得到diethylamino(iodo)silane
  参考文献：
  名称：

  Synthesis methods for amino(halo)silanes

  摘要：

  本发明涉及一种合成氨基（卤）硅烷的方法，包括以下步骤：将具有SiaHbXc式的卤硅烷与具有SidHe（NR1R2）f式的氨基硅烷反应，以产生具有SiwHxXy（NR1R2）z式的氨基（卤）硅烷，其中X = Br或I；每个R1和R2独立地选自C1-C10烷基，芳基或杂原子基团；a，d和w独立地= 1至4；b + c = 2a + 2；b = 1至2a + 1；c = 1至2a + 1；e + f = 2d + 2；e = 1至2d + 1；f = 1至2d + 1；x + y + z = 2w + 2；R1和R2可以连接以形成含氮杂环。

  公开号：

  US09701695B1
• 作为产物：
  描述：

  二乙胺 在 正丁基锂 、 二氯硅烷 作用下， 以 正己烷 为溶剂， 反应 30.0h， 以91.1%的产率得到双(二乙基氨基)硅烷
  参考文献：
  名称：

  二（二乙胺基）硅烷的制备方法

  摘要：

  本发明提供了一种二(二乙胺基)硅烷的制备方法，包括以下步骤：步骤一，在惰性气氛保护的反应器中加入正丁基锂的烷烃CnH(2n+2)(n≥5)溶液，在搅拌的条件下滴加二乙基胺进行反应，反应体系的温度保持在-60～-30℃，搅拌反应10-15小时；步骤二，在-60～-30℃条件下通入二氯硅烷，并维持-60～-30℃搅拌反应15-20小时，升至室温，再常压下蒸出烷烃CnH(2n+2)(n≥5)；步骤三，在减压下蒸出二(二乙胺基)硅烷粗品。二(二乙胺基)硅烷粗品经减压精馏得高纯度二(二乙胺基)硅烷。本发明的有益效果是：所选试剂无毒性，保证了操作人员安全；反应过程比较平和，没有安全隐患；反应效率很高。

  公开号：

  CN105837611A

文献信息

• 아미노실란으로부터 Si-O 결합을 갖는 화합물을 제거하는 방법
  申请人：KCC Silicone Corporation 주식회사 케이씨씨실리콘(120200913183) Corp. No ▼ 110111-7701760BRN ▼753-88-01926

  公开号：KR20160144550A

  公开（公告）日：2016-12-19

  본 발명은 아미노실란으로부터 Si-O 결합을 갖는 화합물을 제거하는 방법 에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 Si-O 결합을 갖는 화합물을 불순물로 포함하는 아미노실란을 알킬메탈로 처리하여 상기 불순물을 아미노실란과 끓는점의 차이가 큰 화합물로 변형시키고 증류를 통해 불순물을 제거함으로써, 증류 공정을 단순화시키고 아미노실란을 수율을 향상시킬 수 있는, 아미노실란으로부터 Si-O 결합을 갖는 화합물을 제거하는 방법에 관한 것이다.

  本发明涉及一种从氨基硅烷中去除具有Si-O键合的化合物的方法，更具体地，通过将含有Si-O键合的化合物作为杂质的氨基硅烷经过烷基金属处理，将杂质转化为与氨基硅烷具有显著沸点差异的化合物，并通过蒸馏去除杂质，从而简化蒸馏过程并提高氨基硅烷的产率，该方法涉及从氨基硅烷中去除具有Si-O键合的化合物。
• 알킬아미노실란 화합물의 제조방법
  申请人：EG Chem (주)이지켐(120150515871) Corp. No ▼ 134811-0249905BRN ▼135-86-25179

  公开号：KR20210041804A

  公开（公告）日：2021-04-16

  본 발명은 고순도의 알킬아미노실란 화합물을 고수율로 수득할 수 있는 알킬아미노실란 화합물의 제조방법에 관한 것이다.

  本发明涉及一种制备高纯度的烷基氨基硅烷化合物并且高收率获得的烷基氨基硅烷化合物的制备方法。
• アミノシラン類の製造方法
  申请人：住友精化株式会社

  公开号：JP2019081711A

  公开（公告）日：2019-05-30

  【課題】複数の溶媒を用いてクロロシラン類と第２級アミンとを反応させるアミノシラン類の合成方法において、アミノシラン類の収率を向上させる。 【解決手段】反応溶媒総量に対する原料クロロシラン類の割合を０．２〜０．８ｍｏｌ／Ｌの範囲とする。【選択図】なし

  【问题】在使用多种溶剂反应氯硅烷和二级胺合成氨基硅烷的方法中，提高氨基硅烷的收率。 【解决方法】将原料氯硅烷的比例设置为总反应溶剂量的0.2〜0.8mol/L范围内。【选择图】无
• 一种二（二乙基氨基）硅烷合成方法
  申请人：浙江博瑞电子科技有限公司

  公开号：CN108084219B

  公开（公告）日：2020-09-15

  本发明提供了一种二（二乙基氨基）硅烷合成方法，其特征在于包括以下步骤：按重量份，反应器中加入100份二氯氢硅，己烷1000‑2000份，5‑20份白土催化剂，通入氮气，在搅拌的条件下滴加入300‑600份二乙胺进行反应，反应体系的温度保持在40‑60℃，滴加完毕后，保温5‑10小时,再经业内公知的脱杂质精制技术得到二（二乙基氨基）硅烷。
• Synthesis and characterization of 2,4,6-tris((dimethylamino)methyl)phenoxysilicon compounds
  作者：Aman Akkari-El Ahdab、Ghassoub Rima、Heinz Gornitzka、Jacques Barrau

  DOI：10.1016/s0022-328x(01)01053-1

  日期：2001.11

  hexacoordinated [4+2] in 9. The 1H-NMR features are consistent, in all cases, with dynamic coordination mode of the o-NMe2 groups in solution at room temperature. The solid-state structures of the lithium phenolate and of compounds 6 and 9 have been determined by X-ray diffraction. The trimeric structure of ArOLi contains an Li3O3-ring that is almost perfectly planar; the structures of 6 and 9 confirm no

  一系列2,4,6-三（（二甲基氨基）甲基）苯氧基硅化合物Σ4− n Si（OAr）n（Σ= Cl; n = 1（1），2（2）;Σ= Me，n = 1（3），2（4）;Σ= Me 3 Si，n = 1（5），2（6）），PhSiH n（OAr）3− n（n = 2（7），1（8））和H n Si（OAr）4− n（n = 2（9），1（10））已通过各种适应方法合成。通过29 Si-，1 H-，13 C-，15 N-NMR对化合物进行光谱表征。在溶液中的硅⋯N键的形成和协调这些化合物中的程度是从所确定的29的Si-NMR（和15 N）化学位移和1 Ĵ SiH。硅中心四配位在3 - 6，在五配位的1，2，7，8和六配位[4 + 2] 9。在1在所有情况下，H-NMR特征在室温下与溶液中o -NMe 2基团的动态配位模式一致。酚酸锂以及化合物6和9的固态结构已经通过X射线衍射测定。ArOLi