N-(alpha-AROMATIC GROUP-SUBSTITUTED-2-NITRO-4,5-DIALKOXYBENZYLOXYCARBONYL)AMINE COMPOUND AND PROCESS FOR PRODUCING THE SAME
申请人:Yamagami Isao
公开号:US20110172421A1
公开(公告)日:2011-07-14
An object of the present invention is to provide a novel photobase generator which can sensitively generate a base even by h-ray in place of a conventional 2-nitro-4,5-dimethoxybenzyloxycarbonylamine compound. Disclosed is an N-(α-aromatic group-substituted-2-nitro-4,5-dialkoxybenzyloxycarbonyl)amine compound represented by the following general formula (I).
(In the above formula (I), R
1
to R
9
denote specific groups.)
고감도이고, 폴리이미드 전구체의 종류를 막론하고 용해성 콘트라스트가 얻어지고, 결과적으로 충분한 프로세스 마진을 유지하면서 형상이 양호한 패턴을 얻을 수 있는 감광성 수지 조성물을 제공한다. 화학식 (I)로 표시되는 광 염기 발생제 및 폴리이미드 전구체를 함유하는 감광성 수지 조성물.(각 부호는 명세서 중에서 정의한 바와 같다.)