Isoliermaterial für Aluminium und Kupfermetallisierungen
申请人:Infineon Technologies AG
公开号:EP1375563A1
公开(公告)日:2004-01-02
Die Erfindung betrifft ein hochtemperaturstabiles Dielektrikum für Aluminium- und Kupfermetallisierungen. Die polymeren Dielektrika eignen sich überraschenderweise - trotz der Abspaltung von Wasser während der Zyklisierung - sehr gut zum Füllen von engen Gräben. Die gefüllten Gräben zeigen keinerlei Defektstellen sowie Blasen oder Risse. Die Polybenzoxazole haben Dielektrizitätskonstanten von k ≦ 2,7 und eignen sich gut als elektrischer Isolator. Weiterhin haften diese Materialien sehr gut auf allen für die Mikroelektronik relevanten Oberflächen.
本发明涉及一种用于铝和铜金属化的高温稳定电介质。令人惊讶的是,这种聚合物电介质非常适合填充狭窄的沟槽,尽管在循环过程中会出现水分离现象。填充后的沟槽不会出现任何缺陷、气泡或裂缝。聚苯并恶唑的介电常数 k ≦ 2.7,非常适合用作电绝缘体。此外,这些材料还能很好地附着在与微电子有关的所有表面上。
Poly-o-hydroxyamides, polybenzoxazoles, processes for producing poly-o-hydroxyamides, processes for producing polybenzoxazoles, dielectrics including a polybenzoxazole, electronic components including the dielectrics, and processes for manufacturing the electronic components
申请人:——
公开号:US20030176623A1
公开(公告)日:2003-09-18
Poly-o-hydroxyamides are cyclicized to obtain polybenzoxazoles. The poly-o-hydroxyamides provide effective filling of trenches. In particular, the poly-o-hydroxyamides can fill trenches having a width of less than 100 nm and an aspect ratio of more than 4. Further, the polybenzoxazoles of the invention are very suitable for the damascene process. A dielectric can be made from the polybenzoxazole. In turn, semiconductor devices can include the dieletric. Processes for making the poly-o-hydroxyamides, polybenzoxazoles, and semiconductor devices are included.
[GRAPHICS]We describe a novel macrocyclic minireceptor that is assembled from a chiral 1,2-diamine and 5-allyloxyisophthalic acid. After immobilization on HPLC silica, the chiral macrocycle preferentially binds the L-enantiomers of simple amino acid derivatives, with enantioselectivities values up to 3.0 kcal/mol.