【課題】良好なフォーカスマージンでレジストパターンを製造できる化合物、樹脂及びこの樹脂を含むレジスト組成物を提供することを目的とする。【解決手段】式(I)で表される化合物、この化合物に由来する構造単位を含む樹脂及びレジスト組成物。[式(I)中、R1及びR2は、それぞれ独立に、ハロゲン原子を有してもよい炭素数1〜6のアルキル基、水素原子又はハロゲン原子を表す。L1及びL2は、それぞれ独立に、−CHR3−CH2−又は−CH2−CHR4−を表す。R3及びR4は、それぞれ独立に、炭素数1〜6のアルキル基を表す。A3は、フッ素原子を有する炭素数1〜12の2価の炭化水素基を表す。]【選択図】なし
提供旨在制造具有良好焦点裕度的光刻图案的化合物、
树脂以及包含该
树脂的光刻组合物。解决方案包括由式(I)表示的化合物、包含由该化合物衍生的结构单元的
树脂和光刻组合物。[在式(I)中,R1和R2分别独立地表示具有卤素原子的碳数为1〜6的烷基、氢原子或卤素原子。L1和
L2分别独立地表示−CHR3−
CH2−或− −CHR4−。R3和R4分别独立地表示碳数为1〜6的烷基。A3表示具有
氟原子的碳数为1〜12的二价碳氢基。][选择图]无