硅烷,氯[(4-甲氧苯基)甲基]二甲基- | 106797-61-9

• 分子结构分类: 有机化合物 - 苯类化合物 - 苯酚醚
• 中文名称: 硅烷,氯[(4-甲氧苯基)甲基]二甲基-
• 英文名称: Chloro[(4-methoxyphenyl)methyl]dimethylsilane
• 英文别名: chloro-[(4-methoxyphenyl)methyl]-dimethylsilane
• CAS: 106797-61-9
• 化学式: C₁₀H₁₅ClOSi
• 分子量: 214.76
• InChiKey: ONUMTHFQQRBVII-UHFFFAOYSA-N

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  3.22
• 重原子数：
  13
• 可旋转键数：
  3
• 环数：
  1.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  0.4
• 拓扑面积：
  9.2
• 氢给体数：
  0
• 氢受体数：
  1

反应信息

• 作为产物：
  描述：

  镁 、 二氯二甲基硅烷 、 4-甲氧基氯苄 在 镁 、 氯化镁 作用下， 以 乙醚 为溶剂， 反应 5.0h， 以to give 87.8 g (0.409 mol) of the desired product in a 64.0% yield的产率得到硅烷,氯[(4-甲氧苯基)甲基]二甲基-
  参考文献：
  名称：

  Alkali-soluble siloxane polymer, silmethylene polymer, and

  摘要：

  提供了一种碱溶性的硅氧烷聚合物、碱溶性的硅甲烷聚合物和碱溶性的聚有机硅氧烷聚合物。它们可用作制造半导体器件的光刻胶。由于其对氧等离子体具有优异的抗性，因此适用于干法刻蚀。

  公开号：

  US04745169A1

文献信息

• Alkali-soluble siloxane polymer, silmethylene polymer, and
  申请人：Hitachi, Ltd.

  公开号：US04745169A1

  公开（公告）日：1988-05-17

  There are provided an alkali-soluble siloxane polymer, an alkali-soluble silmethylene polymer, and an alkali-soluble polyorganosilsesquioxane polymer. They are useful as a photoresist for the fabrication of semiconductor devices. They are suitable for dry etching because of their superior resistance to oxygen plasmas.

  提供了一种碱溶性的硅氧烷聚合物、碱溶性的硅甲烷聚合物和碱溶性的聚有机硅氧烷聚合物。它们可用作制造半导体器件的光刻胶。由于其对氧等离子体具有优异的抗性，因此适用于干法刻蚀。