(C2H5)2SiH2 | 542-91-6

• 物质功能分类: 化学试剂 - 有机试剂 - 硅烷
• 分子结构分类: 有机化合物 - 碳氢化合物衍生物
• 英文名称: (C2H5)2SiH2
• CAS: 542-91-6
• 化学式: C4H10Si
• 分子量: 86.21
• InChiKey: KZZFGAYUBYCTNX-UHFFFAOYSA-N

物化性质

• 熔点：
  -132°C
• 沸点：
  56 °C (lit.)
• 密度：
  0.681 g/mL at 25 °C (lit.)
• 闪点：
  −20 °F
• 溶解度：
  与四氢呋喃、乙醚、1,4-二恶烷和苯混溶。

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  1.57
• 重原子数：
  5
• 可旋转键数：
  2
• 环数：
  0.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  1.0
• 拓扑面积：
  0
• 氢给体数：
  0
• 氢受体数：
  0

安全信息

• TSCA：
  Yes
• 危险等级：
  3
• 危险品标志：
  F
• 安全说明：
  S16,S23,S24/25
• 危险类别码：
  R11
• WGK Germany：
  1
• 危险品运输编号：
  UN 1993 3/PG 2
• 海关编码：
  2931900090
• 包装等级：
  II
• 危险类别：
  3

制备方法与用途

简介

二乙基硅烷作为沉积金属硅酸盐膜的重要硅源。一种有效的方法是通过化学气相沉积技术，在电子器件中形成高k电介质的金属硅酸盐薄膜，具体步骤包括：向反应区提供二乙基硅烷；同时引入氧源至该区域；再提供金属前驱体。通过这些物质之间的化学反应，可以在衬底上制备出所需的金属硅酸盐膜。常用的金属优选为铪、锆或它们的混合物。此外，金属硅酸盐膜的介电常数可根据膜中金属、硅和氧的相对原子浓度进行调节。

用途

二乙基硅烷作为一种硅烷试剂，在文献中有报道其可用于制备沉积金属硅酸盐膜所需的硅源。