Es werden strahlungsempfindliche Zusammensetzungen enthaltend
a) mindestens ein festes filmbildendes Polyphenol,
b) mindestens eine Verbindung der Formel I
 worin
   n 2, 3 oder 4 darstellt,
   Ar ein n-wertiger Benzol- oder Naphthalinrest oder ein zweiwertiger Rest der Formel II
 Q die direkte Bindung, -O-, -SO-, -SO₂-, -CH₂-, -C(CH₃)(Phenyl)- oder -C(CH₃)₂- ist, R₁ und R₂ unabhängig voneinander C₁-C₈-Alkyl oder unsubstituiertes oder durch C₁-C₄-Alkyl substituiertes Phenyl oder Naphthyl bedeuten oder R₁ und R₂ zusammen 1,2-Phenylen oder -[C(R′)(R˝)]m- darstellen,
R′ und R˝ unabhängig voneinander Wasserstoff, C₁-C₄-Alkyl oder Phenyl sind und m 2, 3 oder 4 ist, und.
c) mindestens eine unter aktinischer Strahlung säurebildende Verbindung beschrieben.
Diese Zusammensetzungen finden Anwendung als Negativresist, insbesondere zur Herstellung von Druckplatten, gedruckten Schaltungen und integrierten Schaltkreisen.
                            包括辐射敏感成分
a) 至少一种固体成膜多
酚、
b) 至少一种式 I 的化合物
 其中
n 是 2、3 或 4、
Ar 是正价苯或
萘基或式 II 的二价基
 Q 是直接键、-O-、-SO-、-SO₂-、-CH₂-、-C(CH₃)(苯基)- 或-C(CH₃)₂-、R₁ 和 R₂ 相互独立地为 C₁-C₈ 烷基或未取代的或 C₁-C₄ 烷基取代的苯基或
萘基,或 R₁ 和 R₂ 合在一起为 1,2-亚苯基或-[C(R′)(R˝)]m-、
R′ 和 R˝ 相互独立地为氢、C₁-C₄-烷基或苯基,且 m 为 2、3 或 4,且。
c) 描述了至少一种在辐照下形成酸的化合物。
这些组合物可用作负性抗蚀剂,特别是用于制造印制板、印刷电路和集成电路。