A styrene polymer represented by formula (1), terminated with P, and having a weight average molecular
1
wherein R is OH or OR
3
, R
1
is H or CH
3
, R
2
is alkyl, R
3
is acid labile group, x≧0, y>0, k≧0, m≧0, n>0, 0
由式(1)代表的
苯乙烯聚合物,以 P 结尾,其重量平均分子为
1
其中 R 是 OH 或 OR
3
, R
1
是 H 或 CH
3
, R
2
是烷基,R
3
是酸性基团,x≧0, y>0, k≧0, m≧0, n>0, 0
化学放大正极抗蚀剂组合物具有高灵敏度和高分辨率,可形成具有耐等离子蚀刻性、耐热性和可重复性的抗蚀图案。