摘要 为了制备 YBa 2 Cu 3 O 7− X (1 2 3) 薄膜的高 J c 涂层导体,使用
三氟乙酸盐 (TFA) 前驱体溶液的
金属有机沉积 (MOD) 工艺是最有前景的低成本非
金属材料之一。 -真空方法。然而,生长过程的细节和 123 晶体生长的机制仍然未知。为阐明123薄膜的生长机理,采用实验方法和数值方法研究了123晶体的生长过程。通过透射电子显微镜 (
TEM) 观察在 LaAlO 3 (LAO) 衬底上生长 123 晶体过程中淬火的样品,揭示了生长 123 晶体的微观结构。采用c轴和a轴生长速率函数,通过二维数值方法模拟了具有不同晶体取向的多面123晶体的生长过程。通过模拟可视化了 123 晶体的生长过程和微观结构。研究了晶界的曲折、优选取向晶体的过度生长以及成核晶体和颗粒初始分布的影响。