名称:
Synthesis method for a compound used to form a self-assembled monolayer, compound for forming a self-assembled monolayer, and layer structure for a semiconductor component
摘要:
本发明提供了一种用于形成半导体元件中使用的自组装单分子层的化合物的合成方法。该方法包括第一步,用至少含有一个芳香基团的化合物替换ω-卤代烯烃的末端卤素,以及第二步,对第一步反应产物进行氢硅化反应。第一步的反应产物包括十八烷基-17-烯氧基苯、4-十八烷基-17″-烯氧基-1,1′-联苯、2-十七烷基-16′-烯基噻吩和2-十八烷基-17′-烯基噻吩。所提供的单分子层包括18-苯氧基十八烷基三氯硅烷、[18-(1′,1″-联苯-4′-氧基)十八烷基]三氯硅烷、(17-噻吩-2′-基十七烷基)三氯硅烷、(18-噻吩-2′-基十八烷基)三氯硅烷和4-(18′-三氯硅基十八烷氧基)苯腈。本发明实施例提供了具有单分子层的有机场效应晶体管。