[EN] FRACTIONATION OF PHENOL FORMALDEHYDE CONDENSATE AND PHOTORESIST COMPOSITIONS PRODUCED THEREFROM<br/>[FR] FRACTIONNEMENT D'UN CONDENSAT DE PHENOL-FORMALDEHYDE ET COMPOSITIONS D'AGENTS DE RESERVE OBTENUES
申请人:CLARIANT INTERNATIONAL, LTD.
公开号:WO1997011101A1
公开(公告)日:1997-03-27
(EN) A process for producing a water insoluble, aqueous alkali soluble, film forming novolak resin fraction having a low metal ion content, made by the fractionation of a phenol formaldehyde condensation product, a process for producing a photoresist composition containing such a novolak resin, and a method for producing a semiconductor device using such a photoresist composition.(FR) L'invention se rapporte à un procédé de production d'une fraction de résine novolaque filmogène, soluble dans des alcalis aqueux insolubles dans l'eau et ayant une faible teneur en ions métalliques, obtenue par le fractionnement d'un condensat phénol-formaldéhyde, à un procédé de production d'une composition d'agent de reserve contenant cette résine novolaque et à un procédé de production d'un dispositif à semi-conducteurs mettant en oeuvre cette composition d'agent de reserve.