2-methyladamantyl 2-[(methanesulfonyloxy)methyl]acrylate | 1426257-92-2

• 分子结构分类: 有机化合物 - 有机酸及其衍生物 - 有机磺酸及其衍生物
• 英文名称: 2-methyladamantyl 2-[(methanesulfonyloxy)methyl]acrylate
• 英文别名: (2-Methyl-2-adamantyl) 2-(methylsulfonyloxymethyl)prop-2-enoate；(2-methyl-2-adamantyl) 2-(methylsulfonyloxymethyl)prop-2-enoate
• CAS: 1426257-92-2
• 化学式: C₁₆H₂₄O₅S
• 分子量: 328.43
• InChiKey: DNFLPYLFGBMLQP-UHFFFAOYSA-N

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  2.5
• 重原子数：
  22
• 可旋转键数：
  6
• 环数：
  4.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  0.81
• 拓扑面积：
  78
• 氢给体数：
  0
• 氢受体数：
  5

反应信息

• 作为反应物：
  描述：

  2-hydroxy-1,1-difluoroethanesulfonic acid triphenylsulfonium 、 2-methyladamantyl 2-[(methanesulfonyloxy)methyl]acrylate 在 sodium hydroxide 作用下， 以 水 为溶剂， 反应 1.0h， 以28%的产率得到2-[2-(2-methyladamantaneoxycarbonyl)allyloxy]-1,1-difluoroethanesulfonic acid triphenylsulfonium
  参考文献：
  名称：

  Fluorine-Containing Sulfonate, Fluorine-Containing Sulfonate Resin, Resist Composition and Pattern Formation Method

  摘要：

  根据本发明，提供了一种含氟磺酸盐重复单元为以下通式（3）的树脂。为了防止图案形成后的粗糙度或图案形成失败等不足，该含氟磺酸盐树脂具有光酸发生功能，并作为一种抗蚀树脂，其中“能够通过酸作用改变其显影剂溶解性的基团”和“具有光酸发生功能的基团”有规律地排列。

  公开号：

  US20130065182A1

文献信息

• US8791293B2
  申请人：——

  公开号：US8791293B2

  公开（公告）日：2014-07-29
• US9152045B2
  申请人：——

  公开号：US9152045B2

  公开（公告）日：2015-10-06
• Fluorine-Containing Sulfonate, Fluorine-Containing Sulfonate Resin, Resist Composition and Pattern Formation Method
  申请人：MORI Kazunori

  公开号：US20130065182A1

  公开（公告）日：2013-03-14

  According to the present invention, there is provided a fluorine-containing sulfonate resin having a repeating unit of the following general formula (3). In order to prevent deficiency such as roughness after pattern formation or failure in pattern formation, the fluorine-containing sulfonate resin incorporates therein a photoacid generating function and serves as a resist resin in which “a moiety capable of changing its developer solubility by the action of an acid” and “a moiety having a photoacid generating function” are arranged with regularity.

  根据本发明，提供了一种含氟磺酸盐重复单元为以下通式（3）的树脂。为了防止图案形成后的粗糙度或图案形成失败等不足，该含氟磺酸盐树脂具有光酸发生功能，并作为一种抗蚀树脂，其中“能够通过酸作用改变其显影剂溶解性的基团”和“具有光酸发生功能的基团”有规律地排列。