3-(2,3-dihydroxy-1-propyloxy)-1-adamantyl acrylate | 928833-10-7

• 分子结构分类: 有机化合物 - 脂质和类脂质分子 - 甘油脂
• 英文名称: 3-(2,3-dihydroxy-1-propyloxy)-1-adamantyl acrylate
• 英文别名: 3-(2,3-dihydroxypropoxy)-1-adamantyl acrylate；[3-(2,3-Dihydroxypropoxy)-1-adamantyl] prop-2-enoate
• CAS: 928833-10-7
• 化学式: C₁₆H₂₄O₅
• 分子量: 296.364
• InChiKey: XVFNKSQNYDHABO-UHFFFAOYSA-N

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  1.2
• 重原子数：
  21
• 可旋转键数：
  7
• 环数：
  4.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  0.81
• 拓扑面积：
  76
• 氢给体数：
  2
• 氢受体数：
  5

反应信息

• 作为产物：
  描述：

  3-methanesulfonyloxy-1-adamantyl acrylate 、 甘油 在 4-甲氧基苯酚 、 三乙胺 水 作用下， 反应 4.0h， 生成 3-(2,3-dihydroxy-1-propyloxy)-1-adamantyl acrylate 、 3-[2-hydroxy-1-(hydroxymethyl)ethoxy]-1-adamantyl acrylate
  参考文献：
  名称：

  WO2007/29442

  摘要：

  公开号：

文献信息

• POLYMER COMPOUND, NEGATIVE RESIST COMPOSITION, AND METHOD OF FORMING RESIST PATTERN
  申请人：Iwashita Jun

  公开号：US20090162785A1

  公开（公告）日：2009-06-25

  There are provided a polymer compound which can form a resist pattern with excellent resolution, and a negative resist composition containing the polymer compound and a resist pattern-forming method thereof. The present invention is a polymer compound containing a structural unit (a0) represented by a general formula (a0-1) shown below. (wherein, R represents a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group or a halogenated alkyl group; and R 0 represents an alkyl group containing a hydroxyl group.) Also, the present invention is a negative resist composition, including: an alkali soluble resin component (A), an acid generator component (B) that generates acid upon exposure, and a cross-linking agent (C), wherein the alkali soluble resin component (A) contains a polymer compound (A1) having a structural unit (a0) represented by the general formula (a0-1) shown above.

  本发明提供了一种聚合物化合物，可以形成具有优异分辨率的抗蚀图案，以及包含该聚合物化合物的负型抗蚀组合物和其制备方法。本发明是一种聚合物化合物，其中包含下式所示的通式（a0-1）所代表的结构单元（a0）。（其中，R代表氢原子、卤素原子、烷基或卤代烷基；R0代表含有羟基的烷基。）此外，本发明还提供了一种负型抗蚀组合物，包括：碱溶性树脂组分（A）、在曝光时生成酸的酸发生器组分（B）和交联剂（C），其中碱溶性树脂组分（A）含有具有上述通式（a0-1）所代表的结构单元（a0）的聚合物化合物（A1）。
• US7820360B2
  申请人：——

  公开号：US7820360B2

  公开（公告）日：2010-10-26
• WO2007/29442
  申请人：——

  公开号：——

  公开（公告）日：——