申请人:住友化学株式会社
公开号:JP2019059715A
公开(公告)日:2019-04-18
【課題】良好なラインエッジラフネスでレジストパターンを製造できる塩の提供。【解決手段】式(I)で表される塩。[式中、R1及びR2は、OH基又は式(R−1)基;Qr1及びQr2は、F原子又はペルフルオロアルキル基;Rr1及びRr2は、H、F原子又はペルフルオロアルキル基;zrは、0〜6の整数;Xr1は、−CO−O−、−O−CO−等;Lr1は、単結合又は−CH2−が、−O−、−S−、−CO−又は−S(O)2−に置き換わっていてもよい2価の飽和炭化水素基;ZR+は有機カチオン;Ar1及びAr2は、置換基を有していてもよい芳香族炭化水素環を表す。]【選択図】なし
提供具有良好线边粗糙度的盐,可用于制造感光胶图案。这种盐由式(I)表示。【在式中,R1和R2分别表示-OH基或(R-1)基;Qr1和Qr2表示F原子或全氟烷基;Rr1和Rr2表示H、F原子或全氟烷基;zr是0至6的整数;Xr1表示-CO-O-、-O-CO-等;Lr1表示单键或-CH2-,可被取代为-O-、-S-、-CO-或-S(O)2-的二价饱和烷基;ZR+表示有机阳离子;Ar1和Ar2表示可具有取代基的芳香烃环。】【选择图】无