本发明适用于光刻胶技术领域,提供一种双芳基亚砜的制备方法,包括:在保护气氛中,将
芳香烃与二
氯亚砜混合;低温搅拌下,在混合液中加入
三氟甲磺酸进行反应;然后在反应液中加入碱中和残留的酸,再将反应液脱溶。将本发明制备的双芳基亚砜溶于
醚类溶剂中,加入三
甲基氯硅烷活化,低温搅拌情况下,再向其加入芳基格式试剂制得卤代三芳基
硫鎓盐。将卤代三芳基
硫鎓盐及
全氟丁基磺酸钾溶于
甲醇溶液,搅拌、旋干得到光致产酸剂。本发明使用廉价易得的原料
芳香烃出发制备双芳基亚砜,收率高,成本低,经过简单的纯化后,即可用于后续的卤代三芳基
硫鎓盐的合成,为后续光刻胶中光致产酸剂的合成降低了成本、铺平道路。