已经进行了
金属-
配体键的键解离能的密度泛函理论、中间物种稳定性的热力学研究以及通过在线质谱法对气相组成的实验研究,以研究生长机制和在来自二茂
镍的
金属有机
化学气相沉积 (MOCVD) 过程中,
镍膜中的碳掺入。提出了一种模型,根据该模型,二茂
镍分子被吸附在表面上。
环戊二烯是由相邻分子的两个
环戊二烯基
配体之间的反应形成的,而缺氢环作为起始物质,通过随后的脱氢将碳掺入薄膜中。可用的氢原子与
镍环戊二烯基反应形成氢化中间体,这些中间体从表面解吸。该模型与文献中关于分解过程不同步骤的数据兼容。© 2000 电
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