申请人:Resonac Holdings Corporation 가부시키가이샤 레조낙 홀딩스(519980961615)
公开号:KR20190008914A
公开(公告)日:2019-01-25
[과제] 도전 패턴에 마이그레이션이 발생하기 어려운 보호막의 재료가 되는 에폭시(메타)아크릴레이트 화합물 및 이것을 함유하는 경화성 조성물을 제공한다. [해결수단] 이하의 일반식(1)으로 나타내어지는 것을 특징으로 하는 에폭시(메타)아크릴레이트 화합물로서, 불순물인 할로겐 원자의 함유량이 100질량ppm 이하이다. 또한, 이 에폭시(메타)아크릴레이트 화합물에 (메타)아크릴로일기를 함유하는 모노머나 올리고머 중 적어도 1종, 및 광중합 개시제를 혼합하여 도전 패턴의 보호막 형성용 경화성 조성물로 한다. (R~R 중 적어도 하나는 하기 식(2)으로 나타내는 구조를 갖고, 나머지 R~R는 각각 독립적으로 수소 원자, 탄소 원자수가 1~6개인 알킬기 및 알콕시기로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 하나이다. R은 수소 원자 또는 메틸기를 나타낸다) (*는 식(1)에 있어서의 R~R가 연결하는 벤젠환을 구성하는 탄소 원자와의 연결부를 나타내고, R은 수소 원자 또는 메틸기를 나타낸다)
这是一段关于一种用于难以发生迁移的挑战模式的保护屏障的材料的描述。它提供了含有环氧(甲基)丙烯酸酯化合物及其固化成分的描述。该环氧(甲基)丙烯酸酯化合物的特征是其含有的卤素原子杂质量不超过100质量ppm。此外,将含有(甲基)丙烯酰基的单体或聚合物中的至少一种,以及光聚合引发剂混合到这种环氧(甲基)丙烯酸酯化合物中,以形成用于形成挑战模式保护屏障的固化成分。 (R~R中至少有一个具有以下结构,其余的R~R分别是独立的氢原子、由1~6个碳原子组成的烷基或醚基中的任何一个。R表示氢原子或甲基基团) (*在式(1)中,R~R连接苯环的碳原子的连接部分,R表示氢原子或甲基基团)