摘要:
该发明涉及使用式I1的羟胺磺酸酯,其中m为0或1,x为1或2;R1为例如取代苯基,R2为例如具有R1的一种含义或为未取代苯基、C1-C6烷酰基、未取代或取代苯甲酰基、C2-C6烷氧羰基或苯氧羰基;或者如果必要,R1和R2连同CO基团一起形成环,当x为1时,R3为例如C1-C18烷基、苯基或苯并芘基,其中苯基和苯并芘基未取代或取代,或当x为2时,R3为例如C2-C12烷基、苯基或氧二苯基,其中苯基和氧二苯基未取代或取代,作为潜在酸供体,特别是在波长超过390纳米时,以及在光阻剂的生产中使用这些化合物。