摘要 使用快速热解真空紫外单光子电离飞行时间质谱 (VUV-
SPI-TO
FMS) 在 20-100 μs 的短时间尺度上研究了四甲基
硅烷 (TMS) 和
四甲基锗烷 (
TMG) 的热分解。TMS 和
TMG 的初级分解通过失去
甲基自由基而发生,分别形成 Si(CH 3 ) 3 和 Ge(CH 3 ) 3 。Si(CH 3 ) 3 和Ge(CH 3 ) 3 自由基都经历了第二个
甲基自由基的二次损失,分别形成:Si(CH 3 ) 2 和:Ge(CH 3 ) 2 。之前未观察到的 TMS 二次分解过程包括从 Si(CH 3 ) 3 失去 H 原子,然后消除 H 2 以形成 SiC 3 H 8 、SiC 3 H 6 和 SiC 3 H 4 。在
TMG 热解中观察到第三个和第四个
甲基自由基的连续损失以及 Ge 和 Ge 2 的显着形成。TMS 热解中第三个
甲基自由基的损失并不显着,而可能会产生 Si