(4-tert-butoxyphenyl)diphenylsulfonium 2,2,2-trifluoroethanesulfonate

• 分子结构分类: 有机化合物 - 苯类化合物 - 苯酚醚
• 英文名称: (4-tert-butoxyphenyl)diphenylsulfonium 2,2,2-trifluoroethanesulfonate
• 英文别名: [4-[(2-methylpropan-2-yl)oxy]phenyl]-diphenylsulfanium;2,2,2-trifluoroethanesulfonate
• 化学式: C₂H₂F₃O₃S*C₂₂H₂₃OS
• 分子量: 498.587
• InChiKey: GRZJQJQLOLAMTN-UHFFFAOYSA-M

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  6.05
• 重原子数：
  33
• 可旋转键数：
  5
• 环数：
  3.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  0.25
• 拓扑面积：
  75.8
• 氢给体数：
  0
• 氢受体数：
  7

反应信息

• 作为产物：
  描述：

  二苯基亚砜 在 三甲基氯硅烷 、 三乙胺 作用下， 以 二氯甲烷 为溶剂， 生成 (4-tert-butoxyphenyl)diphenylsulfonium 2,2,2-trifluoroethanesulfonate
  参考文献：
  名称：

  Sulfonium salts and chemically amplified positive resist compositions

  摘要：

  本发明提供了一种新型磺隆盐，其分子中至少有一个酸敏感基团连接到苯基上，并且具有C.sub.2-C.sub.20烷基磺酸盐或芳基磺酸盐阴离子，其烷基或芳基具有电子吸引基团，例如氟和硝基。这种新型磺隆盐对于增加暴露和未暴露区域之间的溶解对比度很有效。在暴露后，它会产生一种取代的烷基或芳基磺酸，这是一种弱酸，在PEB步骤期间最小化了副反应和失活的影响。该磺隆盐在化学增强型正电子抗蚀剂组成物中很有用，适用于精细图案和高分辨率。

  公开号：

  US05824824A1

文献信息

• US5824824A
  申请人：——

  公开号：US5824824A

  公开（公告）日：1998-10-20