triphenylsulfonium (2-hydroxyethoxycarbonyl)difluoromethanesulfonate | 935471-16-2

• 分子结构分类: 有机化合物 - 苯类化合物 - 苯和取代衍生物
• 英文名称: triphenylsulfonium (2-hydroxyethoxycarbonyl)difluoromethanesulfonate
• 英文别名: 1,1-Difluoro-2-(2-hydroxyethoxy)-2-oxoethanesulfonate;triphenylsulfanium；1,1-difluoro-2-(2-hydroxyethoxy)-2-oxoethanesulfonate;triphenylsulfanium
• CAS: 935471-16-2
• 化学式: C₄H₅F₂O₆S*C₁₈H₁₅S
• 分子量: 482.526
• InChiKey: IRNYHSFHHUIICW-UHFFFAOYSA-M

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  3.44
• 重原子数：
  32
• 可旋转键数：
  7
• 环数：
  3.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  0.14
• 拓扑面积：
  113
• 氢给体数：
  1
• 氢受体数：
  8

反应信息

• 作为反应物：
  描述：

  triphenylsulfonium (2-hydroxyethoxycarbonyl)difluoromethanesulfonate 在 对甲苯磺酸 、 N,N'-羰基二咪唑 作用下， 以 甲醇 、 氯仿 、 乙腈 为溶剂， 反应 31.0h， 生成
  参考文献：
  名称：

  塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法

  摘要：

  旨在提供一种能够制造出具有良好形状的感光胶图案的盐类、酸发生剂以及包含它们的感光胶组合物。所述解决方案为由式（Ｉ）表示的盐类、酸发生剂以及包含它们的感光胶组合物。【式（Ｉ）中，Q1和Q2分别独立表示氟原子或含有1至6个碳原子的全氟烷基。Lb1表示含有1至24个碳原子的二价饱和碳氢基，该饱和碳氢基中的-CH2-可以被-O-或-CO-取代，该饱和碳氢基中的氢原子可以被氟原子或羟基取代。Ad表示孔雀石酰基。R1分别独立表示含有环状醚结构的有机基或氢原子。但是，R1中至少有一个表示含有环状醚结构的有机基。Z+表示有机阳离子。】【选择图】无

  公开号：

  JP2017095446A

文献信息

• RESIN SUITABLE FOR AN ACID GENERATOR AND A CHEMICALLY AMPLIFIED POSITIVE RESIST COMPOSITION CONTAINING THE SAME
  申请人：ANDO Nobuo

  公开号：US20110165519A1

  公开（公告）日：2011-07-07

  The present invention provides a resin which generates an acid by irradiation and is a salt of an organic cation and an anionic polymer wherein the anionic polymer has no carbon-carbon unsaturated bond. The present invention further provides a chemically amplified resist composition comprising the same.

  本发明提供了一种树脂，该树脂通过辐射发生酸化作用，是有机阳离子和阴离子聚合物的盐，其中阴离子聚合物没有碳-碳不饱和键。本发明还提供了包含该树脂的化学增感光阻组合物。
• JP6232812
  申请人：——

  公开号：——

  公开（公告）日：——
• US7932334B2
  申请人：——

  公开号：US7932334B2

  公开（公告）日：2011-04-26
• 塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
  申请人：住友化学株式会社

  公开号：JP2017095448A

  公开（公告）日：2017-06-01

  【課題】良好なＣＤ均一性でレジストパターンを製造できる塩、酸発生剤及びこれを含むレジスト組成物を提供することを目的とする。【解決手段】式（Ｉ）で表される塩、酸発生剤及びレジスト組成物。［式中、Ｑ1及びＱ2は、それぞれ独立に、フッ素原子又は炭素数１〜６のペルフルオロアルキル基を表す。Ｌb1は、炭素数１〜２４の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる−ＣＨ２−は、−Ｏ−又は−ＣＯ−に置き換わっていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基で置換されていてもよい。Ａｄは、アダマンタントリイル基を表す。Ｚ＋は、有機カチオンを表す。］【選択図】なし

  目的是提供一种能够制造具有良好CD均一性的光阻图案的盐、酸发生剂以及包含它们的光阻组合物。解决方案是由式（I）表示的盐、酸发生剂和光阻组合物。【式中，Q1和Q2分别独立地表示氟原子或含有1-6个碳原子的全氟烷基。Lb1表示含有1-24个碳原子的二价饱和烷基，该饱和烷基中的-CH2-可以被-O-或-CO-取代，该饱和烷基中的氢原子可以被氟原子或羟基取代。Ad表示孔雀石脂基。Z+表示有机阳离子。】【选择图】无