2-ethoxycarbonyl-1,1-difluoroethanesulfonic acid sodium salt | 1353546-39-0

• 分子结构分类: 有机化合物 - 有机酸及其衍生物 - 有机磺酸及其衍生物
• 英文名称: 2-ethoxycarbonyl-1,1-difluoroethanesulfonic acid sodium salt
• 英文别名: Sodium;3-ethoxy-1,1-difluoro-3-oxopropane-1-sulfonate；sodium;3-ethoxy-1,1-difluoro-3-oxopropane-1-sulfonate
• CAS: 1353546-39-0
• 化学式: C₅H₇F₂O₅S*Na
• 分子量: 240.16
• InChiKey: RMDAXVYTQISGGJ-UHFFFAOYSA-M

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  -2.92
• 重原子数：
  14
• 可旋转键数：
  5
• 环数：
  0.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  0.8
• 拓扑面积：
  91.9
• 氢给体数：
  0
• 氢受体数：
  7

反应信息

• 作为产物：
  描述：

  氯甲酸乙酯 以57.6%的产率得到2-ethoxycarbonyl-1,1-difluoroethanesulfonic acid sodium salt
  参考文献：
  名称：

  Acid generating agent for chemically amplified resist compositions

  摘要：

  提供了以下公式（1）或（2）所代表的酸生成剂，该酸生成剂包含在化学增感抗蚀剂组成物中：在公式（1）和（2）中，X代表具有1至20个碳原子的未取代或取代的烷基基团，并且选择自烷基、卤代烷基和烷基磺酰基，该基团可能至少有一个氢原子被醚基团、酯基团、羰基团、缩醛基团、腈基团、氰基团、羟基团、羧基团或醛基团取代，或代表具有1至4个碳原子的全氟烷基基团；R6代表具有1至10个碳原子的烷基基团、具有1至10个碳原子的烷氧基团，或选择自氮、硫、氟和氧的杂原子；m为0至2的整数；A+为有机对离子。

  公开号：

  US20090291390A1

文献信息

• Acid generating agent for chemically amplified resist compositions
  申请人：Jung Sung-Do

  公开号：US20090291390A1

  公开（公告）日：2009-11-26

  An acid generating agent represented by the following formula (1) or (2) is provided, which is included in chemically amplified resist compositions: wherein in the formula (1) and (2), X represents an unsubstituted or substituted alkyl group having 1 to 20 carbon atoms and selected from alkyl, haloalkyl and alkylsulfonyl, which may have at least one hydrogen atom substituted by an ether group, an ester group, a carbonyl group, an acetal group, a nitrile group, a cyano group, a hydroxyl group, a carboxyl group or an aldehyde group, or represents a perfluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms; R 6 represents an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, or a heteroatom selected from nitrogen, sulfur, fluorine and oxygen; m is an integer from 0 to 2; and A+ is an organic counterion.

  提供了以下公式（1）或（2）所代表的酸生成剂，该酸生成剂包含在化学增感抗蚀剂组成物中：在公式（1）和（2）中，X代表具有1至20个碳原子的未取代或取代的烷基基团，并且选择自烷基、卤代烷基和烷基磺酰基，该基团可能至少有一个氢原子被醚基团、酯基团、羰基团、缩醛基团、腈基团、氰基团、羟基团、羧基团或醛基团取代，或代表具有1至4个碳原子的全氟烷基基团；R6代表具有1至10个碳原子的烷基基团、具有1至10个碳原子的烷氧基团，或选择自氮、硫、氟和氧的杂原子；m为0至2的整数；A+为有机对离子。