本発明は、下記一般式(1)で表されるアルコキシド化合物、該化合物を含む薄膜形成用材料及び薄膜の製造方法を提供する。 (式中、R1及びR2は、各々、独立に、水素原子、炭素原子数1~5のアルキル基又は、炭素原子数1~5のフッ素原子含有アルキル基を表し、R3及びR4は、各々、独立に、炭素原子数1~5のアルキル基又は、炭素原子数1~5のフッ素原子含有アルキル基を表し、R5は水素原子、フッ素原子を含有する基又は炭素原子数1~5のアルキル基を表し、R6はフッ素原子を含有する基を表し、Mは、金属原子又は半金属原子を表し、nは、Mで表される原子の価数を表す。但し、Mが銅原子である場合、R3及びR4は、各々、独立に、炭素原子数1~2のアルキル基を表し、R5は水素原子を表す。)
本发明提供了一种由下式(1)表示的醇酸盐化合物、包含该化合物的薄膜形成材料以及制备薄膜的方法。(其中,R1和R2各自独立地表示氢原子、碳原子数为1-5的烷基或含有1-5个
氟原子的烷基,R3和R4各自独立地表示碳原子数为1-5的烷基或含有1-5个
氟原子的烷基,R5表示氢原子、含有
氟原子的基团或碳原子数为1-5的烷基,R6表示含有
氟原子的基团,M表示
金属原子或半
金属原子,n表示由M表示的原子的价数。但是,如果M是
铜原子,则R3和R4各自独立地表示碳原子数为1-2的烷基,R5表示氢原子。)