BOUVIER P.; ANDRIEUX J.; CUNHA H.; MOLHO D., BULL. SOC. CHIM. FRANCE, 1977 PART. 2, NO 11-12, 1187-1194
作者:BOUVIER P.、 ANDRIEUX J.、 CUNHA H.、 MOLHO D.
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[EN] ALKALI-SOLUBLE RESIN, PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, PHOTOSENSITIVE SHEET, CURED FILM, INTERLAYER INSULATING FILM OR SEMICONDUCTOR PROTECTIVE FILM, PRODUCTION METHOD FOR RELIEF PATTERN OF CURED FILM, AND ELECTRONIC COMPONENT OR SEMICONDUCTOR DEVICE<br/>[FR] COMPOSITION DE RÉSINE SOLUBLE DANS LES ALCALIS, COMPOSITION DE RÉSINE PHOTOSENSIBLE, FEUILLE PHOTOSENSIBLE, FILM DURCI, FILM ISOLANT INTER-COUCHE OU FILM PROTECTEUR SEMICONDUCTEUR, PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE MOTIF EN RELIEF DE FILM DURCI ET COMPOSANT ÉLECTRONIQUE OU DISPOSITIF SEMICONDUCTEUR<br/>[JA] アルカリ可溶性樹脂、感光性樹脂組成物、感光性シート、硬化膜、層間絶縁膜または半導体保護膜、硬化膜のレリーフパターンの製造方法、電子部品または半導体装置