derivatives such as Cl2SiHGeH2Cl (3), Cl2SiHGeHCl2 (4), ClSiH2GeH2Cl (5), and ClSiH2GeHCl2 (6) have also been produced for the first time leading to a new class of highly reactive Si-Ge compounds that are of fundamental and practical interest. Compounds 1-6 are characterized by physical and spectroscopic methods including NMR, FTIR, and mass spectroscopy. The results combined with first principles density
我们描述了基于
化学式 ClnH6-nSiGe 的新型
氯化
硅锗氢化物家族的合成。H3SiGeH3 的选择性受控
氯化是通过与
BCl3 反应生成 ClH2SiGeH3 (1) 和 Cl2HSiGeH3 (2) 来实现的。这代表了一种可行的单步路线,以用于半导体应用的商业产量获得目标化合物。内置的 Cl 功能专门设计用于促进与 CMOS 处理兼容的选择性生长。更高级的多
氯化衍
生物,如
Cl2SiHGeH2Cl (3)、
HGeHCl2 (4)、ClSiH2GeH2Cl (5) 和 ClSiH2GeHCl2 (6) 也首次被生产,导致了一类新的高反应性 Si-Ge 化合物和实际利益。化合物 1-6 通过物理和光谱方法表征,包括 NMR、FTIR、和质谱。结果与第一性原理密度泛函理论相结合,用于阐明 ClnH6-nSiGe 整个序列的结构、热
化学和振动趋势,并深入了解反应动力学对产物中 Cl