{WN(OCMe3)3}n | 82209-24-3

• 分子结构分类: 有机化合物
• 英文名称: {WN(OCMe3)3}n
• 英文别名: WN(tert-butoxide)3；WN(OtBu)3；NW(O(t)Bu)3；NW(O-t-Bu)3
• CAS: 82209-24-3
• 化学式: C₁₂H₂₇NO₃W
• 分子量: 417.201
• InChiKey: IKYRVXCNEHETMS-UHFFFAOYSA-N

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  3.81
• 重原子数：
  17.0
• 可旋转键数：
  0.0
• 环数：
  0.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  1.0
• 拓扑面积：
  51.48
• 氢给体数：
  0.0
• 氢受体数：
  4.0

反应信息

• 作为反应物：
  描述：

  W2(O-i-Pr)6(py)2 、 {WN(OCMe3)3}n 以 正己烷 、 异丙醇 为溶剂， 以30%的产率得到
  参考文献：
  名称：

  Chisholm, Malcolm H.; Hoffman, David M.; Huffman, John C., Inorganic Chemistry, 1985, vol. 24, # 6, p. 796 - 797

  摘要：

  DOI：
• 作为产物：
  描述：

  sodium t-butanolate 、 叔丁醇 在 [WNCl₃]₄.1.1DCE 作用下， 以 乙二醇二甲醚 为溶剂， 反应 1.0h， 以52%的产率得到{WN(OCMe3)3}n
  参考文献：
  名称：

  Tungsten nitrido precursors for the CVD of tungsten nitride, carbonitride, and oxide films

  摘要：

  该发明的实施例涉及一种在低于300°C的温度下通过沉积WNx前体制备WNx、WNxCy、WNxOz和WNxCyOz固体的方法。WNx前体是钨氮化物复合物。沉积可以使用钨氮化物复合物作为单源金属有机前体来进行。在该发明的实施例中，沉积可以进行以形成多个WNx、WNxCy、WNxOz、WNxCyOz纳米颗粒。

  公开号：

  US09540284B2

文献信息

• Reaction of NW(OtBu)3 with σ3λ5-phosphoranes. The [2 + 2] cycloaddition across the WN triple bond results in the first representative of an inorganic four-membered metallacycle with conjugated endo- and exocyclic double bonds
  作者：Oleksandr O. Kovalenko、Vasyl Kinzhybalo、Tadeusz Lis、Oleksiy V. Khavryuchenko、Eduard B. Rusanov、Anatolii I. Brusilovets

  DOI：10.1039/c2dt12492k

  日期：——

  The reactions of NW(OtBu)3 with the low-coordinate phosphorus compounds (Me3Si)2NP(NSiMe3)2 (I) and (Me3Si)2NPS(NtBu) (II) were studied. Quantum chemical calculations were used to determine why Mo- and W-containing compounds with the same composition have different molecular structures.

  研究了 NW(OtBu)3 与低配位磷化合物 (Me3Si)2NP(NSiMe3)2 (I) 和 (Me3Si)2NPS(NtBu) (II) 的反应。通过量子化学计算，确定了相同成分的含 Mo 和 W 化合物具有不同分子结构的原因。
• Tungsten Nitrido Complexes as Precursors for Low Temperature Chemical Vapor Deposition of WN_<i>x</i>C_<i>y</i> Films as Diffusion Barriers for Cu Metallization
  作者：K. Randall McClain、Christopher O’Donohue、Arijit Koley、Richard O. Bonsu、Khalil A. Abboud、Joseph C. Revelli、Timothy J. Anderson、Lisa McElwee-White

  DOI：10.1021/ja4117582

  日期：2014.1.29

  the form WN(NR2)3 [R = combinations of Me, Et, (i)Pr, (n)Pr] have been synthesized as precursors for the chemical vapor deposition of WN(x)C(y), a material of interest for diffusion barriers in Cu-metallized integrated circuits. These precursors bear a fully nitrogen coordinated ligand environment and a nitrido moiety (W≡N) designed to minimize the temperature required for film deposition. Mass spectrometry

  已合成 WN(NR2)3 [R = Me、Et、(i)Pr、(n)Pr 的组合] 形式的氮化钨配合物作为 WN(x)C(y) 化学气相沉积的前体，一种对铜金属化集成电路中的扩散阻挡层感兴趣的材料。这些前体具有完全氮配位的配体环境和氮基部分 (W≡N)，旨在将薄膜沉积所需的温度降至最低。前体的质谱和固态热解通过从单体和二聚体钨物种中损失游离二烷基胺产生常见碎片。WN(NMe2)3 上的 DFT 计算表明，在形成氮桥二聚体后，HNMe2 损失的最低气相能量途径是 β-H 转移。WN(x)C(y) 的非晶薄膜是从 WN(NMe2)3 作为单一来源的前驱体在 125 到 650 °C 的温度范围内使用气溶胶辅助化学气相沉积 (AACVD) 以吡啶作为溶剂生长的。化学计量接近 W2NC 的薄膜在 150 到 450°C 之间生长，在 150°C 生长的薄膜非常光滑，RMS 粗糙度为 0.5 nm。在扩散阻挡测试中，30
• Synthesis of WN(NMe ₂ ) ₃ as a Precursor for the Deposition of WN <i> _x </i> Nanospheres
  作者：K. Randall McClain、Christopher O'Donohue、Zhiwei Shi、Amy V. Walker、Khalil A. Abboud、Tim Anderson、Lisa McElwee‐White

  DOI：10.1002/ejic.201200254

  日期：2012.10

  The WNx precursor WN(NMe2)3 was prepared from WN(OtBu)3 and Zr(NMe2)4 by using an amide/alkoxide exchange reaction. Structural analysis of WN(NMe2)3 revealed an overall pseudo-tetrahedral geometry with a distortion towards trigonal pyramidal. Aerosol-assisted chemical vapor deposition (AACVD) from WN(NMe2)3 resulted in deposition of WNx nanospheres onto Si(100) and Si(111) substrates at low temperatures

  WNx 前体 WN(NMe2)3 由 WN(OtBu)3 和 Zr(NMe2)4 通过酰胺/醇盐交换反应制备。WN(NMe2)3 的结构分析揭示了一个整体伪四面体几何形状，具有向三角锥体方向的变形。来自 WN(NMe2)3 的气溶胶辅助化学气相沉积 (AACVD) 导致 WNx 纳米球在低温 (75–125 °C) 下沉积到 Si(100) 和 Si(111) 基材上。纳米球通过 SEM 成像，并通过使用能量色散光谱 (EDS) 和 X 射线光电子能谱 (XPS) 进行表征。这些初步结果证明了 WN(NMe2)3 作为单源前驱体在低温下沉积 WNx 的可行性。
• Reactions of M-M triple bonds with carbon-nitrogen triple bonds: adduct formation (M = molybdenum) and metathesis (M = tungsten) as seen in the reactions between dimethylcyanamide and hexaalkoxides of dimolybdenum and ditungsten
  作者：Malcolm H. Chisholm、John C. Huffman、Nancy L. Marchant

  DOI：10.1021/ja00357a038

  日期：1983.9

  Etude des reactions de M 2 (OR) 6 et du dimethylcyanamide, donnant des composes d'addition 1:1, MO 2 (OR) 6 (μ−NCNMe 2 ). Structure moleculaire de MO 2 (OCH 2 −t-Bu) 6 (η−NCNMe 2 )

  M 2 (OR) 6 et du二甲基氰胺的反应练习曲，d'addition 1:1, MO 2 (OR) 6 (μ-NCNMe 2 )组成。结构分子MO 2 (OCH 2 -t-Bu) 6 (η-NCNMe 2 )
• Metathesis of Nitrogen Atoms within Triple Bonds Involving Carbon, Tungsten, and Molybdenum
  作者：Beth A. Burroughs、Bruce E. Bursten、Shentan Chen、Malcolm H. Chisholm、Andy R. Kidwell

  DOI：10.1021/ic8003917

  日期：2008.6.1

  ((BuO)-O-t)(3)Mo N and W-2(OBut)(6)(M M) react in hydrocarbons to form Mo-2(OBut)(6)(M M) and ((BuO)-O-t)(3)W N via the reactive intermediate MoW(OBut)(6)(M M). ((BuO)-O-t)(3)W N and CH3C N-15 react in tetrahydrofuran (THF) at room temperature to give an equilibrium mixture involving ((BuO)-O-t)(3)W N-15 and CH3C N. The ((BuO)-O-t)(3)W N compound is similarly shown to act as a catalyst for N-15-atom scrambling between MeC13 N-15 and PhC N to give a mixture of MeC13 N and PhC N-15. From studies of degenerate scrambling of IN atoms involving ((BuO)-O-t)(3)W N and MeC13 N in THF-d(8) by C-13H-1} NMR spectroscopy, the reaction was found to be first order in acetonitrile and the activation parameters were estimated to be Delta H-not equal = 13.4(7) kcal/mol and Delta S-not equal = -32(2) eu. A similar reaction is observed for ((BuO)-O-t)(3)Mo N and (CH3CN15)-N-not equal upon heating in THF-d(8). The reaction is suppressed in pyridine solutions and not observed for the dimeric [((BuMe2SiO)-Me-t)(3)W N](2). The reaction pathway has been investigated by calculations employing density functional theory on the model compounds (MeO)(3)M N and CH3C N where M = Mo and W. The transition state was found to involve a product of the 2 + 2 cycloaddition of M N and C N, a planar metalladiazacyclobutadiene. This resembles the pathway calculated for alkyne metathesis involving (MeO)(3)W CMe, which modeled the metathesis of ((BuO)-O-t)(3)W CBut. The calculations also predict that the energy of the transition state is notably higher for M = Mo relative to M = W.

  ((BuO)-O-t)(3)Mo N 和 W-2(OBut)(6)(M M) 在烃类中反应，通过反应中间体 MoW(OBut)(6)(M M) 形成 Mo-2(OBut)(6)(M M) 和 ((BuO)-O-t)(3)W N。((BuO)-O-t)(3)W N 和 CH3C N-15 在四氢呋喃 (THF) 中于室温下反应，生成 ((BuO)-O-t)(3)W N-15 和 CH3C N 的平衡混合物。((BuO)-O-t)(3)W N 化合物还表现出催化 N-15 原子在 MeC13 N-15 和 PhC N 间重排的能力，生成 MeC13 N 和 PhC N-15 的混合物。通过 C-13H-1} 核磁共振光谱对涉及 ((BuO)-O-t)(3)W N 和 MeC13 N 在 THF-d(8) 中的 IN 原子退化重排研究发现，反应对丙腈呈一级反应，活化参数估计为 ΔH≠ = 13.4(7) kcal/mol 和 ΔS≠ = -32(2) eu。类似地，((BuO)-O-t)(3)Mo N 和 (CH3CN15)-N≠ 在 THF-d(8) 中加热时也观察到类似反应。该反应在吡啶溶液中受到抑制，且未在二聚体 [((BuMe2SiO)-Me-t)(3)W N]₂ 中观察到。通过密度泛函理论对模型化合物 (MeO)(3)M N 和 CH3C N（M = Mo 和 W）进行计算，研究了反应路径。发现过渡态涉及 M N 和 C N 的 2 + 2 环加成产物，即平面金属杂环丁二烯。此路径与对含 (MeO)(3)W CMe 的炔烃复分解反应的计算结果相似，其中 (MeO)(3)W CMe 模拟了 ((BuO)-O-t)(3)W CBut 的复分解反应。计算还预测，M = Mo 时的过渡态能量显著高于 M = W 时的能量。