epitaxial layers and coherent islands (quantum dots), with Ge-rich stoichiometries SiGe, SiGe(2), SiGe(3), and SiGe(4) reflecting the Si/Ge content of the corresponding precursor. The layers grow directly on Si(100) at unprecedented low temperatures of 300-450 degrees C and display homogeneous compositional and strain profiles, low threading defect densities, and atomically planar surfaces circumventing entirely
已证明分子 (H(3)Ge)(x)SiH(4)(-)(x) (x = 1-4) 的整个 silyl-germyl 序列的合成。这些包括以前未知的 (H(3)Ge)(2)SiH(2)、(H(3)Ge)(3)SiH 和 (H(3)Ge)(4)Si 物种以及 H (3) GeSiH(3) 类似物,它以实际高纯度产率获得,作为半导体应用中乙
硅烷和
二锗烷的可行替代品。这些分子的特征在于 FTIR、多核 NMR、质谱和卢瑟福背向散射。使用密度泛函理论研究结构、热
化学和振动特性。实验和理论数据的详细比较用于证实特定分子结构的合成。此处描述的 (H(3)Ge)(x)SiH(4)(-)(x) 化合物家族不仅具有内在的分子意义,而且还提供了一种独特的途径,用于开发一类新的
硅基半导体,包括外延层和相干岛(量子点),富含 Ge 的
化学计量比 SiGe、SiGe(2)、SiGe(3) 和 SiGe(4) 反映了相应前驱体的