N,N,N',N'-Tetrakis[(oxiran-2-yl)methyl]methanediamine | 110430-20-1

• 分子结构分类: 有机化合物 - 有机杂环化合物 - 环氧化物
• 英文名称: N,N,N',N'-Tetrakis[(oxiran-2-yl)methyl]methanediamine
• 英文别名: N,N,N',N'-tetrakis(oxiran-2-ylmethyl)methanediamine
• CAS: 110430-20-1
• 化学式: C₁₃H₂₂N₂O₄
• 分子量: 270.32
• InChiKey: JQRBVXKQGFUZAH-UHFFFAOYSA-N

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  -0.8
• 重原子数：
  19
• 可旋转键数：
  10
• 环数：
  4.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  1.0
• 拓扑面积：
  56.6
• 氢给体数：
  0
• 氢受体数：
  6

文献信息

• SILICONE SKELETON-CONTAINING POLYMER COMPOUND, CHEMICALLY AMPLIFIED NEGATIVE RESIST COMPOSITION, PHOTO-CURABLE DRY FILM AND METHOD FOR PRODUCING SAME, PATTERNING PROCESS, LAYERED PRODUCT, SUBSTRATE, AND SEMICONDUCTOR APPARATUS
  申请人：SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.

  公开号：US20160200877A1

  公开（公告）日：2016-07-14

  The present invention provides a silicone skeleton-containing polymer compound containing a repeating unit shown by the general formula (1). There can be provided a silicone skeleton-containing polymer compound suitable used as a base resin of a chemically amplified negative resist composition that can remedy the problem of delamination generated on a metal wiring such as Cu and Al, an electrode, and a substrate, especially on a substrate such as SiN, and can form a fine pattern without generating a scum and a footing profile in the pattern bottom and on the substrate.

  本发明提供了一种含有硅骨架的聚合物化合物，其含有由通式（1）所示的重复单元。可以提供一种适用于化学增强负型光阻组合物的基础树脂的含有硅骨架的聚合物化合物，可以解决在金属布线（如Cu和Al）、电极和基板（特别是在SiN基板上）上产生的剥离问题，并且可以在图案底部和基板上不产生污点和足底轮廓的情况下形成细小的图案。
• SILICONE SKELETON-CONTAINING POLYMER COMPOUND AND METHOD FOR PRODUCING SAME, CHEMICALLY AMPLIFIED NEGATIVE RESIST COMPOSITION, PHOTO-CURABLE DRY FILM AND METHOD FOR PRODUCING SAME, PATTERNING PROCESS, LAYERED PRODUCT, AND SUBSTRATE
  申请人：SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.

  公开号：US20160097973A1

  公开（公告）日：2016-04-07

  The present invention provides a silicone skeleton-containing polymer compound containing a repeating unit shown by the general formula (1) and having a weight average molecular weight of 3,000 to 500,000. There can be provided a silicone skeleton-containing polymer compound suitable used as a base resin of a chemically amplified negative resist composition that can remedy the problem of delamination generated on a metal wiring such as Cu and Al, an electrode, and a substrate, especially on a substrate such as SiN, and can form a fine pattern without generating a scum and a footing profile in the pattern bottom and on the substrate when the widely used 2.38% TMAH aqueous solution is used as a developer.

  本发明提供了一种含有硅骨架的聚合物化合物，其包含由通式（1）所示的重复单元，并具有3,000至500,000的重均分子量。可以提供一种适用于化学增强负型光阻组合物的基础树脂的硅骨架聚合物化合物，该组合物可以纠正在金属线路（如Cu和Al）、电极和基板（尤其是在SiN基板上）上产生的剥离问题，并且可以在使用广泛使用的2.38％TMAH水溶液作为显影剂时，在图案底部和基板上不生成污染物和足型轮廓的情况下形成细小的图案。
• Beschichteter Festigkeitsträger und Verfahren zu dessen Herstellung
  申请人：Momentive Specialty Chemicals GmbH

  公开号：EP2192165B1

  公开（公告）日：2013-06-26
• BESCHICHTETER FESTIGKEITSTRÄGER
  申请人：Hexion GmbH

  公开号：EP2462190B1

  公开（公告）日：2017-04-12
• ZUSAMMENSETZUNG FÜR EIN ISOLIERBAND
  申请人：Hexion GmbH

  公开号：EP3548547A1

  公开（公告）日：2019-10-09