【課題】自然発火性が無く、300℃以上の熱分解温度を有するバナジウム化合物を得ること。【解決手段】下記一般式(1)で表されるバナジウム化合物。 【化1】 一般式(1)において、R1は炭素原子数1〜7の直鎖又は分岐状のアルキル基を表し、nは2〜4の数を表す。一般式(1)において、nが2であり、R1が第三ブチル基又は第三ペンチル基であるものは、ALDウインドウが広く、熱分解温度が高く、ALD材料として使用した場合に炭素残渣が少なく品質の良好なバナジウム含有薄膜を形成することができることから好ましい。【選択図】なし
【问题】获得具有无自然发火性和300℃以上热分解温度的
钒化合物。
【解决方法】通过下列通式(1)表示的
钒化合物。【
化学式1】在通式(1)中,R1代表碳原子数为1-7的直链或支链烷基,n表示2-4的数字。在通式(1)中,当n为2且R1为第三丁基基团或第三戊基基团时,具有广泛的ALD窗口,高热分解温度,使用作为ALD材料时,形成的
钒含量薄膜具有较少的碳残留物,品质良好,因此是理想的选择。【选择图】无。